SPM techniques for carrier profiling at advanced technology nodes (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• SPM techniques for carrier profiling at advanced technology nodes (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2007-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• Raineri v, Giannazzo f, Mucciato R (2007)
  SPM techniques for carrier profiling at advanced technology nodes
  
  (literal)

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• Raineri v, Giannazzo f, Mucciato R (literal)

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• Rivista tecnico/scientifica di microelettronica con articoli solo su invito). Rivista senza Impact Factor ma a larga diffusione in ambienti scientifici ed industriali (sito web http://www.fabtech.org/journal (literal)

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• 34 (literal)

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• Articolo di rassegna su invito (literal)

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• 2M strumenti (literal)

Titolo

• SPM techniques for carrier profiling at advanced technology nodes (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nanotecnologie e tecnologie avanzate per elettronica integrata (MD.P05.003.004) (Modulo)

Autore CNR

• FILIPPO GIANNAZZO (Unità di personale interno)
• VITO RAINERI (Persona)

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Autore CNR di

• VITO RAINERI (Persona)
• FILIPPO GIANNAZZO (Unità di personale interno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nanotecnologie e tecnologie avanzate per elettronica integrata (MD.P05.003.004) (Modulo)