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Validation of absolute planarity reference plates with a liquid mirror (Articolo in rivista)
- Type
- Label
- Validation of absolute planarity reference plates with a liquid mirror (Articolo in rivista) (literal)
- Anno
- 2005-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi
- 10.1088/0026-1394/42/5/008 (literal)
- Alternative label
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
- Maurizio Vannoni; Giuseppe Molesini (literal)
- Pagina inizio
- Pagina fine
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- http://dx.doi.org/10.1088/0026-1394/42/5/008 (literal)
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- Rivista
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- Note
- Scopu (literal)
- ISI Web of Science (WOS) (literal)
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- Istituto Nazionale di Ottica Applicata, Largo E Fermi 6, 50125 Firenze, Italy (literal)
- Titolo
- Validation of absolute planarity reference plates with a liquid mirror (literal)
- Abstract
- The use of a simplified version of the liquid mirror approach to validate absolute planarity reference flats is described in detail. It is shown that the approach can serve the purpose, providing a measurement of the peak-to-valley departure from planarity that in experiments is within 7 nm uncertainty (2ó) over a diameter of 90 mm (literal)
- Editore
- Prodotto di
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