Microbalance chemical sensor based on thin-film bulk acoustic wave resonators (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• Microbalance chemical sensor based on thin-film bulk acoustic wave resonators (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2005-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1063/1.2112187 (literal)

Alternative label

• M. Benetti 1; D. Cannatà 1; F. Di Pietrantonio 1; V. Foglietti 2; E. Verona 1 (2005)
  Microbalance chemical sensor based on thin-film bulk acoustic wave resonators
  in Applied physics letters
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• M. Benetti 1; D. Cannatà 1; F. Di Pietrantonio 1; V. Foglietti 2; E. Verona 1 (literal)

Pagina inizio

• 173504-1 (literal)

Pagina fine

• 173504-3 (literal)

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• 87 (literal)

Rivista

• Applied physics letters (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo

• 17 (literal)

Note

• Scopu (literal)
• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• 1. Istituto di Acustica \"O. M. Corbino\" - Consiglio Nazionale delle Ricerche, Roma, Italy 2. Istituto di Fotonica e Nanotecnologie - Consiglio Nazionale delle Ricerche, Roma, Italy (literal)

Titolo

• Microbalance chemical sensor based on thin-film bulk acoustic wave resonators (literal)

Abstract

• An electroacoustic chemical sensor based on thin-film bulk acoustic wave resonators (TFBAR) is presented. It operates on the same principle of the well-known quartz crystal micro-balance, at an operation frequency extended up to several GHz. The larger output signal, associated to the higher operation frequency, is a condition to improve the device sensitivity. TFBARs have been implemented on (001) Si wafers, using Si3 N4 AlN membranes, obtained by anisotropic etching of Si. Time response and calibration curves have been tested on TFBAR sensors exploiting two different chemically interactive membranes: Pd and Co-tetra-phenyl-porphyrin, both deposited in the form of thin-films by thermal evaporation. Measurements performed upon exposure to H2, CO, and ethanol have shown the ability of the device to detect low concentrations of the analyte with a fast and repeatable response. (literal)

Prodotto di

• Sensori e Dispositivi nel Settore Acustico (MD.P09.001.001) (Modulo)
• Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN) (Istituto)
• Institute of Acoustics and Sensors \"Orso Mario Corbino\" (IDASC) (Istituto)
• NEMS e MEMS (MD.P06.001.003) (Modulo)

Autore CNR

• VITTORIO FOGLIETTI (Persona)
• FABIO DI PIETRANTONIO (Persona)
• ENRICO VERONA (Unità di personale interno)
• MASSIMILIANO BENETTI (Persona)
• Domenico Cannatà (Unità di personale esterno)

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Autore CNR di

• ENRICO VERONA (Unità di personale interno)
• MASSIMILIANO BENETTI (Persona)
• VITTORIO FOGLIETTI (Persona)
• FABIO DI PIETRANTONIO (Persona)
• Domenico Cannatà (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN) (Istituto)
• Institute of Acoustics and Sensors \"Orso Mario Corbino\" (IDASC) (Istituto)
• Sensori e Dispositivi nel Settore Acustico (MD.P09.001.001) (Modulo)
• NEMS e MEMS (MD.P06.001.003) (Modulo)

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• Applied physics letters (Rivista)