Atomic lithography with barium atoms (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Atomic lithography with barium atoms (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2005-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/j.apsusc.2005.03.001 (literal)

Alternative label

• A.Fioretti; A.Camposeo; F.Tantussi; E.Arimondo; S.Gozzini; C.Gabbanini (2005)
  Atomic lithography with barium atoms
  in Applied surface science
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• A.Fioretti; A.Camposeo; F.Tantussi; E.Arimondo; S.Gozzini; C.Gabbanini (literal)

Pagina inizio

• 196 (literal)

Pagina fine

• 200 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 248 (literal)

Rivista

• Applied surface science (Rivista)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• IPCF-CNR Dip.Fisica, Uni.Pisa (literal)

Titolo

• Atomic lithography with barium atoms (literal)

Abstract

• We present the formation of structures created by barium atoms using a lithographic technique. The interaction of barium atoms with the resist, followed by an etching process, creates well defined structures with features below 100 nm. The interaction of the ground state of Ba atoms with the molecules forming the self-assembled monolayer (SAM) is compared with the metastable Ba atoms-SAM interaction. The results show that metastable atoms require a lower Ba dose per SAM molecule to damage the resist, therefore increasing the efficiency of the process. (literal)

Prodotto di

• Interazione coerente di radiazione con atomi, molecole e superfici attraverso la progettazione e sviluppo di nuove metodologie e sorgenti dall'UV al millimetrico (MD.P03.014.001) (Modulo)
• Istituto per i processi chimico-fisici (IPCF) (Istituto)

Autore CNR

• ANDREA FIORETTI (Unità di personale esterno)
• SILVIA GOZZINI (Unità di personale interno)
• CARLO GABBANINI (Unità di personale interno)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Atomic lithography with barium atoms" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto per i processi chimico-fisici (IPCF) (Istituto)
• Interazione coerente di radiazione con atomi, molecole e superfici attraverso la progettazione e sviluppo di nuove metodologie e sorgenti dall'UV al millimetrico (MD.P03.014.001) (Modulo)

Autore CNR di

• CARLO GABBANINI (Unità di personale interno)
• SILVIA GOZZINI (Unità di personale interno)
• ANDREA FIORETTI (Unità di personale esterno)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Applied surface science (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Atomic lithography with barium atoms" (Insieme di parole chiave)