Study of Morphology, Electrical Activation and Contact formation of Ion Implanted 4H-SiC (Articolo in rivista)

Type
Label
  • Study of Morphology, Electrical Activation and Contact formation of Ion Implanted 4H-SiC (Articolo in rivista) (literal)
Anno
  • 2010-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • Weng MH, Roccaforte F, Giannazzo F, Di Franco S, Bongiorno C, Zanetti E, Ruggiero A, Saggio M, Raineri V (2010)
    Study of Morphology, Electrical Activation and Contact formation of Ion Implanted 4H-SiC
    in Diffusion and defect data, solid state data. Part B, Solid state phenomena
    (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
  • Weng MH, Roccaforte F, Giannazzo F, Di Franco S, Bongiorno C, Zanetti E, Ruggiero A, Saggio M, Raineri V (literal)
Pagina inizio
  • 493 (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume
  • 156-8 (literal)
Rivista
Note
  • ISI Web of Science (WOS) (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
  • CNR-IMM Catania Italy STMicroelecronics, Italy (literal)
Titolo
  • Study of Morphology, Electrical Activation and Contact formation of Ion Implanted 4H-SiC (literal)
Prodotto di
Autore CNR

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