Structural and analytical characterization by scanning transmission electron microscopy of silicon-based nanostructures (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Structural and analytical characterization by scanning transmission electron microscopy of silicon-based nanostructures (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2007-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1149/1.2773976 (literal)

Alternative label

• Armigliato A, Balboni R, Parisini A (2007)
  Structural and analytical characterization by scanning transmission electron microscopy of silicon-based nanostructures
  in ECS transactions
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Armigliato A, Balboni R, Parisini A (literal)

Pagina inizio

• 57 (literal)

Pagina fine

• 64 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 10 (literal)

Rivista

• ECS transactions (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 8 (literal)

Note

• Scopu (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• IMM-CNR Bologna (literal)

Titolo

• Structural and analytical characterization by scanning transmission electron microscopy of silicon-based nanostructures (literal)

Abstract

• A few recent applications of scanning transmission electron microscopy (STEM) methods to problems of interest for nanoelectronics are reported. They include nanometer-scaled dopant profiles by Z-contrast and strain mapping by convergent beam diffraction. (literal)

Prodotto di

• Sviluppo di Modelli Fisici, Simulazioni e Tecniche di Caratterizzazione per le Nanoscienze (MD.P05.004.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• ROBERTO BALBONI (Unità di personale interno)
• ALDO ARMIGLIATO (Persona)
• ANDREA PARISINI (Unità di personale interno)

Insieme di parole chiave

• Parole chiave di "Structural and analytical characterization by scanning transmission electron microscopy of silicon-based nanostructures" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Autore CNR di

• ROBERTO BALBONI (Unità di personale interno)
• ANDREA PARISINI (Unità di personale interno)
• ALDO ARMIGLIATO (Persona)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Sviluppo di Modelli Fisici, Simulazioni e Tecniche di Caratterizzazione per le Nanoscienze (MD.P05.004.001) (Modulo)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• ECS transactions (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Parole chiave di "Structural and analytical characterization by scanning transmission electron microscopy of silicon-based nanostructures" (Insieme di parole chiave)