Growth of aligned CNx nanocolumns on silicon by RF-magnetron sputtering (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Growth of aligned CNx nanocolumns on silicon by RF-magnetron sputtering (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2006-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/j.carbon.2006.07.022 (literal)

Alternative label

• Scalese S; Scuderi V; Simone F; Pennisi A; Compagnini G; Privitera V (2006)
  Growth of aligned CNx nanocolumns on silicon by RF-magnetron sputtering
  in Carbon
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Scalese S; Scuderi V; Simone F; Pennisi A; Compagnini G; Privitera V (literal)

Pagina inizio

• 3123 (literal)

Pagina fine

• 3126 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#url

• http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0008622306004118 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 44 (literal)

Rivista

• Carbon (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 4 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo

• 14 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• CNR, Ist Microelettron & Microsistemi, I-95121 Catania, Italy; Univ Catania, Dipartmento Fis & Aston, I-95125 Catania, Italy; Univ Catania, Dipartimento Sci Chim, I-95125 Catania, Italy (literal)

Titolo

• Growth of aligned CNx nanocolumns on silicon by RF-magnetron sputtering (literal)

Abstract

• We have synthesized, by means of RF-magnetron sputtering technique, a new kind of aligned C-based nanostructures, with a columnar shape. We found that they grow on both Si and SiO2 surfaces and that a considerable amount of nitrogen, introduced during the deposition process, is contained in the nanostructures and determines the columnar shape, as shown by structural and chemical characterization techniques. Each of these structures is quite disordered and no ordering is observed after thermal processes. (literal)

Prodotto di

• Sviluppo di metodologie avanzate per dispositivi elettronici micro e nanostrutturati (MD.P05.005.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• Viviana Scuderi (Persona)
• VITTORIO PRIVITERA (Persona)
• SILVIA SCALESE (Persona)
• AGOSTINO PENNISI DI FLORISTELLA (Persona)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Growth of aligned CNx nanocolumns on silicon by RF-magnetron sputtering" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Autore CNR di

• VITTORIO PRIVITERA (Persona)
• SILVIA SCALESE (Persona)
• Viviana Scuderi (Persona)
• AGOSTINO PENNISI DI FLORISTELLA (Persona)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Sviluppo di metodologie avanzate per dispositivi elettronici micro e nanostrutturati (MD.P05.005.001) (Modulo)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Growth of aligned CNx nanocolumns on silicon by RF-magnetron sputtering" (Insieme di parole chiave)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Carbon (Rivista)