Top-down contact lithography fabrication of a TiO2 nanowire array over a SiO2 mesa (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Top-down contact lithography fabrication of a TiO2 nanowire array over a SiO2 mesa (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2006-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1088/0957-4484/17/15/025 (literal)

Alternative label

• Francioso L, Siciliano P (2006)
  Top-down contact lithography fabrication of a TiO2 nanowire array over a SiO2 mesa
  in Nanotechnology (Bristol. Print)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Francioso L, Siciliano P (literal)

Pagina inizio

• 3761 (literal)

Pagina fine

• 3767 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 17 (literal)

Rivista

• Nanotechnology (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo

• 15 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• CNR, IMM, Sez Lecce, I-73100 Lecce, Italy (literal)

Titolo

• Top-down contact lithography fabrication of a TiO2 nanowire array over a SiO2 mesa (literal)

Abstract

• A fast and cheap nanofabrication process for a titania (TiO2) nanostructured nanowire array with a lateral section ranging from 90 to 180 nm and 1.4 mm in length is presented. As an alternative to typical pattern transfer techniques for submicron fabrication, this work focused on a standard 365 nm ultraviolet (UV) photolithographic process that is able to fabricate sol-gel nanostructured titania nanowires from a solid thin film onto a silicon oxide mesa. Useful process parameters like anisotropy and bias have been calculated. Finally, in order to carry out electrical characterization, the TiO2 nanowire-based array was electrically contacted by platinum electrodes and tested with EtOH pulses to validate enhanced gas sensor device performance and to verify electrical conductivity of these nanostructures. (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Sensori e Microsistemi Intelligenti per la Sicurezza e la Qualità della vita nei settori Agroalimentare, Trasporti ed \"Ambient Assisted Living\" (MD.P05.010.001) (Modulo)

Autore CNR

• PIETRO ALEARDO SICILIANO (Unità di personale interno)
• LUCA NUNZIO FRANCIOSO (Persona)

Incoming links:

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Sensori e Microsistemi Intelligenti per la Sicurezza e la Qualità della vita nei settori Agroalimentare, Trasporti ed \"Ambient Assisted Living\" (MD.P05.010.001) (Modulo)

Autore CNR di

• PIETRO ALEARDO SICILIANO (Unità di personale interno)
• LUCA NUNZIO FRANCIOSO (Persona)

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• Nanotechnology (Rivista)