Dimethylaminosilanes fed inductively coupled plasmas for silicon nitride deposition (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Dimethylaminosilanes fed inductively coupled plasmas for silicon nitride deposition (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2008-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• R. Di Mundo, F. Palumbo, F. Fracassi, R. d'Agostino (2008)
  Dimethylaminosilanes fed inductively coupled plasmas for silicon nitride deposition
  in Plasma processes and polymers (Print)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• R. Di Mundo, F. Palumbo, F. Fracassi, R. d'Agostino (literal)

Pagina inizio

• 770 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 5 (literal)

Rivista

• Plasma processes and polymers (Rivista)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Titolo

• Dimethylaminosilanes fed inductively coupled plasmas for silicon nitride deposition (literal)

Prodotto di

• Istituto di Nanotecnologia (NANOTEC) (Istituto)
• Plasmi per la Scienza dei Materiali (MD.P03.025.001) (Modulo)

Autore CNR

• ROSA DI MUNDO (Persona)
• FRANCESCO FRACASSI (Persona)
• FABIO PALUMBO (Persona)
• RICCARDO D'AGOSTINO (Persona)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto di Nanotecnologia (NANOTEC) (Istituto)
• Plasmi per la Scienza dei Materiali (MD.P03.025.001) (Modulo)

Autore CNR di

• FABIO PALUMBO (Persona)
• ROSA DI MUNDO (Persona)
• RICCARDO D'AGOSTINO (Persona)
• FRANCESCO FRACASSI (Persona)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Plasma processes and polymers (Rivista)