PECVD of low carbon content silicon nitride-like thin films with dimethylaminosilanes (Articolo in rivista)

Type
Label
  • PECVD of low carbon content silicon nitride-like thin films with dimethylaminosilanes (Articolo in rivista) (literal)
Anno
  • 2007-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • R. Di Mundo, M. Ricci, R. dÂ’Agostino, F. Fracassi, F. Palumbo (2007)
    PECVD of low carbon content silicon nitride-like thin films with dimethylaminosilanes
    in Plasma processes and polymers (Print)
    (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
  • R. Di Mundo, M. Ricci, R. dÂ’Agostino, F. Fracassi, F. Palumbo (literal)
Pagina inizio
  • 521 (literal)
Pagina fine
  • 526 (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume
  • 4 (literal)
Rivista
Note
  • ISI Web of Science (WOS) (literal)
Titolo
  • PECVD of low carbon content silicon nitride-like thin films with dimethylaminosilanes (literal)
Prodotto di
Autore CNR

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Autore CNR di
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