Nitrogen vibrational excitation in a N-2/He pulsed planar-ICP RF discharge (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Nitrogen vibrational excitation in a N-2/He pulsed planar-ICP RF discharge (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2005-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1088/0963-0252/14/4/006 (literal)

Alternative label

• P. F. Ambrico; R. Bektursunova; G. Dilecce; S. De Benedictis (2005)
  Nitrogen vibrational excitation in a N-2/He pulsed planar-ICP RF discharge
  in Plasma sources science & technology (Online)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• P. F. Ambrico; R. Bektursunova; G. Dilecce; S. De Benedictis (literal)

Pagina inizio

• 676 (literal)

Pagina fine

• 685 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 14 (literal)

Rivista

• Plasma sources science & technology (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo

• 4 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• P.F. Ambrico; R. Bektursunova (1); G. Dilecce; S. De Benedictis Istituto di Metodologie Inorganiche e dei Plasmi, CNR c/o Department of Chemistry, University of Bari, Via Orabona 4, 70126 Bari, Italy 1) Permanent address: Chemistry Faculty, Computational Chemistry Laboratory, Kazak State University, Almaty, Kazakhstan (literal)

Titolo

• Nitrogen vibrational excitation in a N-2/He pulsed planar-ICP RF discharge (literal)

Abstract

• A pure inductive regime of pulsed RF discharge in N-2-He mixtures at 0.2 Torr has been investigated by time resolved Langmuir probe and optical emission spectroscopy. A planar coil ICP with a Faraday shield has been used. Mixture compositions of 5-100% N-2 and duty cycles, T-ON = 1-15 ms and T-OFF = 15 ins, have been explored. The Langmuir probe analysis evidences a Maxwell electron energy distribution in the discharge and post-discharge, characterized by electron density and temperature that depend on both duty cycle and composition. The vibrational excitation of N-2(C) state is inferred by the N-2 second positive emissions. Its kinetic analysis reveals the formation of a high vibrational excitation of ground state nitrogen. A vibrational temperature higher than 10 000 K can be reached at the end of the 5 ms discharge pulse on the levels v = 0-3 of the X state. Such a high vibrational temperature slows the post-discharge relaxation of the electron temperature. (literal)

Prodotto di

• Dinamica dei processi atomici e molecolari (MD.P03.026.001) (Modulo)
• Istituto di Nanotecnologia (NANOTEC) (Istituto)

Autore CNR

• SANTOLO DE BENEDICTIS (Unità di personale interno)
• GIORGIO DILECCE (Unità di personale interno)
• PAOLO FRANCESCO AMBRICO (Unità di personale interno)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Nitrogen vibrational excitation in a N-2/He pulsed planar-ICP RF discharge" (Insieme di parole chiave)

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Prodotto

• Istituto di Nanotecnologia (NANOTEC) (Istituto)
• Dinamica dei processi atomici e molecolari (MD.P03.026.001) (Modulo)

Autore CNR di

• SANTOLO DE BENEDICTIS (Unità di personale interno)
• GIORGIO DILECCE (Unità di personale interno)
• PAOLO FRANCESCO AMBRICO (Unità di personale interno)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Plasma sources science & technology (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Nitrogen vibrational excitation in a N-2/He pulsed planar-ICP RF discharge" (Insieme di parole chiave)