Strain release in low temperature RF-PECVD epitaxial growth (Abstract/Comunicazione in atti di convegno)

Type
Label
  • Strain release in low temperature RF-PECVD epitaxial growth (Abstract/Comunicazione in atti di convegno) (literal)
Anno
  • 2013-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • R. Ruggeri, C. Bongiorno, G. Mannino, C. Spinella, R. Cariou, N. Ramay, P. Roca i Cabarrocas (2013)
    Strain release in low temperature RF-PECVD epitaxial growth
    in E-MRS Fall Meeting, Varsavia, Polonia, 16-20 Settembre 2013
    (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
  • R. Ruggeri, C. Bongiorno, G. Mannino, C. Spinella, R. Cariou, N. Ramay, P. Roca i Cabarrocas (literal)
Note
  • Comunicazione (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
  • Istituto Per La Microelettronica E Microsistemi, Catania CEA LETI; Ecole Polytechnique; (literal)
Titolo
  • Strain release in low temperature RF-PECVD epitaxial growth (literal)
Prodotto di
Autore CNR

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