Use of radio frequency power, silicon tetrafuoride and methane as parameters to tune structural properties of hydrogenated microcrystalline silicon carbon alloys (Articolo in rivista)

Type
Label
  • Use of radio frequency power, silicon tetrafuoride and methane as parameters to tune structural properties of hydrogenated microcrystalline silicon carbon alloys (Articolo in rivista) (literal)
Anno
  • 2014-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi
  • 10.1088/0022-3727/47/45/455102 (literal)
Alternative label
  • Gaiaschi, Sofia; Ruggeri, Rosa; Gueunier-Farret, Marie Estelle; Johnson, Erik V. (2014)
    Use of radio frequency power, silicon tetrafuoride and methane as parameters to tune structural properties of hydrogenated microcrystalline silicon carbon alloys
    in Journal of physics. D, Applied physics (Print)
    (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
  • Gaiaschi, Sofia; Ruggeri, Rosa; Gueunier-Farret, Marie Estelle; Johnson, Erik V. (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#url
  • http://www.scopus.com/record/display.url?eid=2-s2.0-84908576824&origin=inward (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume
  • 47 (literal)
Rivista
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo
  • 45 (literal)
Note
  • Scopu (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
  • LGEP-CNRS/SUPELEC; Ecole Polytechnique; Istituto Per La Microelettronica E Microsistemi, Catania (literal)
Titolo
  • Use of radio frequency power, silicon tetrafuoride and methane as parameters to tune structural properties of hydrogenated microcrystalline silicon carbon alloys (literal)
Abstract
  • [object Object] (literal)
Prodotto di
Autore CNR
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