Multilayer coatings for x-ray mirrors: extraction of stack parameters from x-ray reflectivity scans and comparison with transmission electron microscopy results (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Multilayer coatings for x-ray mirrors: extraction of stack parameters from x-ray reflectivity scans and comparison with transmission electron microscopy results (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2007-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1117/1.2769325 (literal)

Alternative label

• Spiga D., Pareschi G., Cotroneo V., Canestrari R., Vernani D., Mirone A., Ferrero C., Ferrari C., Lazzarini L. (2007)
  Multilayer coatings for x-ray mirrors: extraction of stack parameters from x-ray reflectivity scans and comparison with transmission electron microscopy results
  in Optical engineering (Bellingham, Print)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Spiga D., Pareschi G., Cotroneo V., Canestrari R., Vernani D., Mirone A., Ferrero C., Ferrari C., Lazzarini L. (literal)

Pagina inizio

• 086501 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 46 (literal)

Rivista

• Optical engineering (Rivista)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• INAF Osservatorio Astronom Brera, I-23807 Merate, LC, Italy; European Synchrotron Radiat Facil, F-38043 Grenoble, France; CNR, IMEM, I-43010 Parma, Italy (literal)

Titolo

• Multilayer coatings for x-ray mirrors: extraction of stack parameters from x-ray reflectivity scans and comparison with transmission electron microscopy results (literal)

Abstract

• The reflectance effectiveness of a multilayer depends strongly on the stack properties (thickness, roughness, and density of each layer) and can be directly tested by means of x-ray reflectivity scans at definite photon energies. The reflectivity curves are also a powerful tool for the in-depth, nondestructive characterization of the stack structure: The complex task of extracting the stack parameters from reflectivity curves can be achieved via a suitable best-fitting computer code based on a global automatic optimization procedure. We present the computer-assisted layer-by-layer analysis of the characteristics of Ni/C, Pt/C, and W/Si multilayers, based on x-ray reflectivity scans performed at 8.05 and 17.45 keV. In order to verify the correctness of the code predictions, we present also a comparison of the computer model with the transmission electron microscope profiles of the same multilayer samples. (literal)

Prodotto di

• Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo (IMEM) (Istituto)
• Sviluppo, caratterizzazione strutturale e modelling di strutture avanzate per elettronica (MD.P05.002.001) (Modulo)
• Sistemi per la conversione di energia (SP.P02.002.001) (Modulo)

Autore CNR

• CLAUDIO FERRARI (Unità di personale interno)
• LAURA LAZZARINI (Unità di personale interno)

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Prodotto

• Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo (IMEM) (Istituto)
• Sviluppo, caratterizzazione strutturale e modelling di strutture avanzate per elettronica (MD.P05.002.001) (Modulo)
• Sistemi per la conversione di energia (SP.P02.002.001) (Modulo)

Autore CNR di

• CLAUDIO FERRARI (Unità di personale interno)
• LAURA LAZZARINI (Unità di personale interno)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Optical engineering (Rivista)