Microwave Annealing of Al+ Implanted 4H-SiC: Towards Device Fabrication (Comunicazione a convegno)

Type

• Comunicazione a convegno (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Microwave Annealing of Al+ Implanted 4H-SiC: Towards Device Fabrication (Comunicazione a convegno) (literal)

Anno

• 2013-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• A. Nath; F. Moscatelli; A. Parisini; Y -L. Tian; M.V. Rao; R. Nipoti (2013)
  Microwave Annealing of Al+ Implanted 4H-SiC: Towards Device Fabrication
  in 15th International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM2013), Miyazaki, Japan, September 29 - October 4, 2013
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• A. Nath; F. Moscatelli; A. Parisini; Y -L. Tian; M.V. Rao; R. Nipoti (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• George Mason University; CNR-IMM of Bologna; Università di Parma; LT Technologies; George Mason University; CNR-IMM of Bologna (literal)

Titolo

• Microwave Annealing of Al+ Implanted 4H-SiC: Towards Device Fabrication (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• ROBERTA NIPOTI (Unità di personale interno)
• FRANCESCO MOSCATELLI (Persona)

Insieme di parole chiave

• Parole chiave di "Microwave Annealing of Al+ Implanted 4H-SiC: Towards Device Fabrication" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR di

• ROBERTA NIPOTI (Unità di personale interno)
• FRANCESCO MOSCATELLI (Persona)

Insieme di parole chiave di

• Parole chiave di "Microwave Annealing of Al+ Implanted 4H-SiC: Towards Device Fabrication" (Insieme di parole chiave)