Role of oxygen on the electrical activation of B in Ge by excimer laser annealing (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• Role of oxygen on the electrical activation of B in Ge by excimer laser annealing (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2014-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1002/pssa.201300308 (literal)

Alternative label

• Impellizzeri, G.; Napolitani, E.; Milazzo, R.; Boninelli, S.; Cuscuna, M.; Fisicaro, G.; La Magna, A.; Fortunato, G.; Priolo, F.; Privitera, V. (2014)
  Role of oxygen on the electrical activation of B in Ge by excimer laser annealing
  in Physica status solidi. A, Applications and materials science (Print)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Impellizzeri, G.; Napolitani, E.; Milazzo, R.; Boninelli, S.; Cuscuna, M.; Fisicaro, G.; La Magna, A.; Fortunato, G.; Priolo, F.; Privitera, V. (literal)

Pagina inizio

• 122 (literal)

Pagina fine

• 125 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 211 (literal)

Rivista

• Physica status solidi. A, Applications and materials science (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 4 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo

• 1 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• CNR IMM MATIS; Dipartimento Fis & Astron; CNR IMM MATIS; Dipartimento Fis & Astron; Consiglio Nazionale delle Ricerche (CNR); Consiglio Nazionale delle Ricerche (CNR) (literal)

Titolo

• Role of oxygen on the electrical activation of B in Ge by excimer laser annealing (literal)

Abstract

• The electrical activation of B+ implanted at 20keV with a fluence of 1x10(15)cm(-2) in crystalline Ge, following a laser annealing (=308nm) with multipulses (1, 3, or 10), was studied. Incomplete activation was observed for all the irradiated samples. The inactivation of B was correlated to the presence of oxygen, coming from the native germanium oxide. The formation of B-O complexes occurs during the solidification of the Ge, hampering the substitutionality and the electrical activation of the dopant. We estimated the diffusivity of oxygen in liquid Ge, approximate to 3x10(-5)cm(2)s(-1), by fitting the experimental O concentration profiles. These studies clarify the key role played by oxygen on the electrical activation of B in Ge by laser annealing, and have to be considered for the fabrication of junctions in advanced scaled Ge-based devices. (C) 2013 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• ENRICO NAPOLITANI (Persona)
• SIMONA MARIA CRISTINA BONINELLI (Unità di personale esterno)
• GUGLIELMO FORTUNATO (Persona)
• MASSIMO CUSCUNA' (Unità di personale interno)
• FRANCESCO PRIOLO (Persona)
• ANTONINO LA MAGNA (Persona)
• GIULIANA IMPELLIZZERI (Unità di personale interno)
• VITTORIO PRIVITERA (Persona)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Role of oxygen on the electrical activation of B in Ge by excimer laser annealing" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Autore CNR di

• ANTONINO LA MAGNA (Persona)
• VITTORIO PRIVITERA (Persona)
• GUGLIELMO FORTUNATO (Persona)
• FRANCESCO PRIOLO (Persona)
• MASSIMO CUSCUNA' (Unità di personale interno)
• ENRICO NAPOLITANI (Persona)
• GIULIANA IMPELLIZZERI (Unità di personale interno)
• SIMONA MARIA CRISTINA BONINELLI (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Physica status solidi. A, Applications and materials science (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Role of oxygen on the electrical activation of B in Ge by excimer laser annealing" (Insieme di parole chiave)