Microfabrication of sharp blazed gratings by a two-step height amplification process based on soft and deep X-ray lithography (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• Microfabrication of sharp blazed gratings by a two-step height amplification process based on soft and deep X-ray lithography (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2014-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/j.sna.2013.09.036 (literal)

Alternative label

• Grenci, Gianluca; Sovernigo, Enrico; Khokhar, Ali Z.; Gadegaard, Nikolaj; Prasciolu, Mauro; Tormen, Massimo (2014)
  Microfabrication of sharp blazed gratings by a two-step height amplification process based on soft and deep X-ray lithography
  in Sensors and actuators. A, Physical (Print)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Grenci, Gianluca; Sovernigo, Enrico; Khokhar, Ali Z.; Gadegaard, Nikolaj; Prasciolu, Mauro; Tormen, Massimo (literal)

Pagina inizio

• 111 (literal)

Pagina fine

• 118 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 205 (literal)

Rivista

• Sensors and actuators. A, Physical (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 8 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• IOM CNR; University of Glasgow; ThunderNIL Srl (literal)

Titolo

• Microfabrication of sharp blazed gratings by a two-step height amplification process based on soft and deep X-ray lithography (literal)

Prodotto di

• MD.P06.017.001 Nanofabbricazione (MD.P06.017.005) (Modulo)

Autore CNR

• MASSIMO TORMEN (Unità di personale interno)
• MAURO PRASCIOLU (Persona)
• GIANLUCA GRENCI (Unità di personale interno)

Insieme di parole chiave

• Parole chiave di "Microfabrication of sharp blazed gratings by a two-step height amplification process based on soft and deep X-ray lithography" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Autore CNR di

• MASSIMO TORMEN (Unità di personale interno)
• GIANLUCA GRENCI (Unità di personale interno)
• MAURO PRASCIOLU (Persona)
• http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/unitaDiPersonaleEsterno/ID25288

Prodotto

• MD.P06.017.001 Nanofabbricazione (MD.P06.017.005) (Modulo)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Sensors and actuators. A, Physical (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Parole chiave di "Microfabrication of sharp blazed gratings by a two-step height amplification process based on soft and deep X-ray lithography" (Insieme di parole chiave)