Evaluation of mechanical and optical properties of hetero-epitaxial single crystal 3C-SiC squared-membrane (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• Evaluation of mechanical and optical properties of hetero-epitaxial single crystal 3C-SiC squared-membrane (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2014-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.4028/www.scientific.net/MSF.778-780.457 (literal)

Alternative label

• Anzalone R.; D'Arrigo G.; Camarda M.; Piluso N.; Via F.L. (2014)
  Evaluation of mechanical and optical properties of hetero-epitaxial single crystal 3C-SiC squared-membrane
  in Materials science forum
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Anzalone R.; D'Arrigo G.; Camarda M.; Piluso N.; Via F.L. (literal)

Pagina inizio

• 457 (literal)

Pagina fine

• 460 (literal)

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• http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-84896093568&partnerID=q2rCbXpz (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 778-780 (literal)

Rivista

• Materials science forum (Rivista)

Note

• Scopu (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• IMM-CNR, Sezione di Catania, 95121 Catania, Italy (literal)

Titolo

• Evaluation of mechanical and optical properties of hetero-epitaxial single crystal 3C-SiC squared-membrane (literal)

Abstract

• The aim of this work is to develop the bulge test technique combined with the micro- Raman analysis and a refined load-deflection model for high quality 3C-SiC squared-membranes. By the minimization of the total elastic energy, starting from the isotropic relation between the stress tensor and the strain tensor, it is possible to calculate the relationship between the maximum deflection and the applied pressure, in both regime of small and large deflection. Furthermore, the relationship between the measured shift of Raman Transverse Optical (TO) phonon modes and the total residual strain (?a/a) within the epitaxial 3C-SiC layer was found and in order to understand the stress distribution within the membrane, TO Raman shift maps were performed along the corner and the border of the membrane. © (2014) Trans Tech Publications, Switzerland. (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)

Autore CNR

• GIUSEPPE ALESSIO MARIA D'ARRIGO (Unità di personale interno)
• RUGGERO ANZALONE (Unità di personale esterno)
• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)
• MASSIMO CAMARDA (Unità di personale esterno)
• NICOLO' PILUSO (Unità di personale esterno)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Evaluation of mechanical and optical properties of hetero-epitaxial single crystal 3C-SiC squared-membrane" (Insieme di parole chiave)

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Autore CNR di

• GIUSEPPE ALESSIO MARIA D'ARRIGO (Unità di personale interno)
• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)
• NICOLO' PILUSO (Unità di personale esterno)
• RUGGERO ANZALONE (Unità di personale esterno)
• MASSIMO CAMARDA (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Materials science forum (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Evaluation of mechanical and optical properties of hetero-epitaxial single crystal 3C-SiC squared-membrane" (Insieme di parole chiave)