Implementazione di sistemi di manipolazione, controllo della temperatura e polarizzazione per portacampioni del sistema di deposizione DC e RF Magnetron Sputtering denominato \"Camera Cluster\" (Rapporti tecnici, manuali, carte geologiche e tematiche e prodotti multimediali)

Type

• Rapporti tecnici, manuali, carte geologiche e tematiche e prodotti multimediali (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Implementazione di sistemi di manipolazione, controllo della temperatura e polarizzazione per portacampioni del sistema di deposizione DC e RF Magnetron Sputtering denominato \"Camera Cluster\" (Rapporti tecnici, manuali, carte geologiche e tematiche e prodotti multimediali) (literal)

Anno

• 2013-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• Montagner F.; Battiston S.; Deambrosis S. M. ; Miorin E.; Pagura C. (2013)
  Implementazione di sistemi di manipolazione, controllo della temperatura e polarizzazione per portacampioni del sistema di deposizione DC e RF Magnetron Sputtering denominato "Camera Cluster"
  
  (literal)

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• Montagner F.; Battiston S.; Deambrosis S. M. ; Miorin E.; Pagura C. (literal)

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• Memorie interne (literal)

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• IENI - Istituto per l'energetica e le interfasi (literal)

Titolo

• Implementazione di sistemi di manipolazione, controllo della temperatura e polarizzazione per portacampioni del sistema di deposizione DC e RF Magnetron Sputtering denominato \"Camera Cluster\" (literal)

Prodotto di

• Institute of Condensed Matter Chemistry and Energy Technologies (ICMATE) (Istituto)
• Leghe metalliche e ossidi nanostrutturati per dispositivi IT-SOFC, per nanofluidi, per materiali termoelettrici e loro applicazioni industriali (ET.P06.009.001) (Modulo)

Autore CNR

• ENRICO MIORIN (Persona)
• SIMONE BATTISTON (Unità di personale interno)
• SILVIA MARIA DEAMBROSIS (Persona)
• CESARE PAGURA (Persona)
• FRANCESCO MONTAGNER (Persona)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Implementazione di sistemi di manipolazione, controllo della temperatura e polarizzazione per portacampioni del sistema di deposizione DC e RF Magnetron Sputtering denominato \"Camera Cluster\"" (Insieme di parole chiave)

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Autore CNR di

• CESARE PAGURA (Persona)
• ENRICO MIORIN (Persona)
• SIMONE BATTISTON (Unità di personale interno)
• FRANCESCO MONTAGNER (Persona)
• SILVIA MARIA DEAMBROSIS (Persona)

Prodotto

• Institute of Condensed Matter Chemistry and Energy Technologies (ICMATE) (Istituto)
• Leghe metalliche e ossidi nanostrutturati per dispositivi IT-SOFC, per nanofluidi, per materiali termoelettrici e loro applicazioni industriali (ET.P06.009.001) (Modulo)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Implementazione di sistemi di manipolazione, controllo della temperatura e polarizzazione per portacampioni del sistema di deposizione DC e RF Magnetron Sputtering denominato \"Camera Cluster\"" (Insieme di parole chiave)