Micromachined gas calibration sources based on nanometric depth microchannels (Contributo in atti di convegno)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Contributo in atti di convegno (Classe)

Label

• Micromachined gas calibration sources based on nanometric depth microchannels (Contributo in atti di convegno) (literal)

Anno

• 2010-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/j.proeng.2010.09.363 (literal)

Alternative label

• Zampolli, S.; Elmi, I.; Mancarella, F.; Messina, M.; Marra, G.; Cozzani, E.; Belluce, M.; Tamarri, F.; Sanmartin, M.; Cardinali, G. C.; Severi, M. (2010)
  Micromachined gas calibration sources based on nanometric depth microchannels
  in Eurosensor XXIV Conference, 2010
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Zampolli, S.; Elmi, I.; Mancarella, F.; Messina, M.; Marra, G.; Cozzani, E.; Belluce, M.; Tamarri, F.; Sanmartin, M.; Cardinali, G. C.; Severi, M. (literal)

Pagina inizio

• 1344 (literal)

Pagina fine

• 1347 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 5 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#volumeInCollana

• 5 (literal)

Rivista

• Procedia engineering (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 4 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• Consiglio Nazionale delle Ricerche (CNR) (literal)

Titolo

• Micromachined gas calibration sources based on nanometric depth microchannels (literal)

Abstract

• In this work a MEMS gas calibration source will be presented. For reliable and quantitative automatic measures over long periods of time, gas sensors and micro-analytical-systems require periodical calibrations. The authors developed an innovative solution based on a liquid reservoir and silicon micromachined nanochannels. To provide low emission rates of highly volatile substances (e. g. toluene) in the ng/min range, micro-channels have millimetric length, micrometric width and nanometric depth, with a typical cross-section of 0.5 mu m(2). Prototypal devices with different channel dimensions, shapes and numbers have been built and functionally characterized. Technological fabrication process flow and characterization results will be shown, and the results will be compared with commercially available permeation tubes. (C) 2010 Published by Elsevier Ltd. (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Studio e sviluppo di microsistemi per analisi chimica (MD.P05.013.001) (Modulo)

Autore CNR

• ENRICO COZZANI (Unità di personale esterno)
• IVAN ELMI (Unità di personale interno)
• MICHELE SANMARTIN (Unità di personale interno)
• STEFANO ZAMPOLLI (Persona)
• FABRIZIO TAMARRI (Unità di personale interno)
• GIAN CARLO CARDINALI (Unità di personale interno)
• MARCO MESSINA (Persona)
• MADDALENA BELLUCE (Unità di personale esterno)
• MAURIZIO SEVERI (Persona)
• FULVIO MANCARELLA (Unità di personale interno)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Micromachined gas calibration sources based on nanometric depth microchannels" (Insieme di parole chiave)

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Autore CNR di

• STEFANO ZAMPOLLI (Persona)
• GIAN CARLO CARDINALI (Unità di personale interno)
• IVAN ELMI (Unità di personale interno)
• MAURIZIO SEVERI (Persona)
• MICHELE SANMARTIN (Unità di personale interno)
• FABRIZIO TAMARRI (Unità di personale interno)
• MARCO MESSINA (Persona)
• ENRICO COZZANI (Unità di personale esterno)
• MADDALENA BELLUCE (Unità di personale esterno)
• FULVIO MANCARELLA (Unità di personale interno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Studio e sviluppo di microsistemi per analisi chimica (MD.P05.013.001) (Modulo)

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• Procedia engineering (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Micromachined gas calibration sources based on nanometric depth microchannels" (Insieme di parole chiave)