Kinetic Monte Carlo simulation of dopant-defect systems under submicrosecond laser thermal processes (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Kinetic Monte Carlo simulation of dopant-defect systems under submicrosecond laser thermal processes (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2012-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1063/1.4766528 (literal)

Alternative label

• Fisicaro G, Pelaz L, Lopez P, Italia M, Huet K, Venturini J, La Magna A (2012)
  Kinetic Monte Carlo simulation of dopant-defect systems under submicrosecond laser thermal processes
  in AIP conference proceedings
  (literal)

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• Fisicaro G, Pelaz L, Lopez P, Italia M, Huet K, Venturini J, La Magna A (literal)

Pagina inizio

• 221 (literal)

Pagina fine

• 224 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 1496 (literal)

Rivista

• AIP conference proceedings (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 4 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• 1 ] CNR IMM, I-95121 Catania, Italy (literal)

Titolo

• Kinetic Monte Carlo simulation of dopant-defect systems under submicrosecond laser thermal processes (literal)

Abstract

• An innovative Kinetic Monte Carlo (KMC) code has been developed, which rules the post-implant kinetics of the defects system in the extremely far-from-the equilibrium conditions caused by the laser irradiation close to the liquid-solid interface. It considers defect diffusion, annihilation and clustering. The code properly implements, consistently to the stochastic formalism, the fast varying local event rates related to the thermal field T(r,t) evolution. This feature of our numerical method represents an important advancement with respect to current state of the art KMC codes. The reduction of the implantation damage and its reorganization in defect aggregates are studied as a function of the process conditions. Phosphorus activation efficiency, experimentally determined in similar conditions, has been related to the emerging damage scenario. (literal)

Prodotto di

• Materiali nanostrutturati a base di Carbonio (MD.P05.005.005) (Modulo)
• modelli e metodi numerici per la micro e nano elettronica (MD.P05.005.002) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)
• Realizzazione di prototipi di celle solari basate su silicio con architetture e processi innovativi (MD.P05.005.006) (Modulo)
• Materiali e processi avanzati per celle fotovoltaiche (MD.P05.005.004) (Modulo)
• Dispositivi Integrabili in smart systems su substrati a basso costo (MD.P05.005.007) (Modulo)

Autore CNR

• MARKUS ITALIA (Persona)
• ANTONINO LA MAGNA (Persona)

Insieme di parole chiave

• Parole chiave di "Kinetic Monte Carlo simulation of dopant-defect systems under submicrosecond laser thermal processes" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Autore CNR di

• ANTONINO LA MAGNA (Persona)
• MARKUS ITALIA (Persona)
• http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/unitaDiPersonaleEsterno/ID22742

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Materiali e processi avanzati per celle fotovoltaiche (MD.P05.005.004) (Modulo)
• Realizzazione di prototipi di celle solari basate su silicio con architetture e processi innovativi (MD.P05.005.006) (Modulo)
• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)
• modelli e metodi numerici per la micro e nano elettronica (MD.P05.005.002) (Modulo)
• Materiali nanostrutturati a base di Carbonio (MD.P05.005.005) (Modulo)
• Dispositivi Integrabili in smart systems su substrati a basso costo (MD.P05.005.007) (Modulo)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• AIP conference proceedings (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Parole chiave di "Kinetic Monte Carlo simulation of dopant-defect systems under submicrosecond laser thermal processes" (Insieme di parole chiave)