http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25019
Building CMUTs for imaging applications from top to bottom (Articolo in rivista)
- Type
- Label
- Building CMUTs for imaging applications from top to bottom (Articolo in rivista) (literal)
- Anno
- 2007-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi
- 10.1016/j.mee.2007.01.211 (literal)
- Alternative label
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
- A. Coppa; E. Cianci; V. Foglietti; G. Caliano; M. Pappalardo (literal)
- Pagina inizio
- Pagina fine
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume
- Rivista
- Note
- ISI Web of Science (WOS) (literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
- IFN-Istituto di Fotonica e Nanotecnologie, Via CinetoRomano 42 00156 Roma
Università di Roma ROMATRE Dipartimento di Ingegneria Elettronica Via della Vasca Navale 00146 Roma (literal)
- Titolo
- Building CMUTs for imaging applications from top to bottom (literal)
- Abstract
- This paper focuses on an innovative fabrication process of a capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) array for medical
imaging. Our approach consists in inverting the function of each layer to build the CMUT capacitive cell starting from the membrane,
made of silicon nitride, up to the bottom electrode, which is supported by an appropriate acoustic backing to absorb any
ultrasound energy transmitted towards the backside of the array and to prevent the ringing of the pulse-echo signal. The fabricated
devices exhibited a large bandwidth (>100%) and an increased sensitivity, in respect to the classical CMUT devices. Using the fabricated
devices as linear probes, echographic images are obtained. (literal)
- Prodotto di
- Autore CNR
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