Microbalance chemical sensor based on thin-film bulk acoustic wave resonators (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Microbalance chemical sensor based on thin-film bulk acoustic wave resonators (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2005-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1063/1.2112187 (literal)

Alternative label

• M. Benetti 1; D. Cannatà 1; F. Di Pietrantonio 1; V. Foglietti 2; E. Verona 1; (2005)
  Microbalance chemical sensor based on thin-film bulk acoustic wave resonators
  in Applied physics letters
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• M. Benetti 1; D. Cannatà 1; F. Di Pietrantonio 1; V. Foglietti 2; E. Verona 1; (literal)

Pagina inizio

• 173504 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 87 (literal)

Rivista

• Applied physics letters (Rivista)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• 1 Istituto di Acustica \"O.M. Corbino\" Consiglio Nazionale delle Ricerche, Via del Fosso del Cavaliere 100 I-00133 , Roma; 2 Istituto di Fotonica e Nanotecnologie Consiglio Nazionale delle Ricerche, Via Cineto Romano 42 I-00156 Roma. (literal)

Titolo

• Microbalance chemical sensor based on thin-film bulk acoustic wave resonators (literal)

Abstract

• An electroacoustic chemical sensor based on thin-film bulk acoustic wave resonators ?TFBAR? is presented. It operates on the same principle of the well-known quartz crystal micro-balance, at an operation frequency extended up to several GHz. The larger output signal, associated to the higher operation frequency, is a condition to improve the device sensitivity. TFBARs have been implemented on ?001? Si wafers, using Si3N4 /AlN membranes, obtained by anisotropic etching of Si. Time response and calibration curves have been tested on TFBAR sensors exploiting two different chemically interactive membranes: Pd and Co-tetra-phenyl-porphyrin, both deposited in the form of thin-films by thermal evaporation. Measurements performed upon exposure to H2, CO, and ethanol have shown the ability of the device to detect low concentrations of the analyte with a fast and repeatable response (literal)

Prodotto di

• NEMS e MEMS (MD.P06.001.003) (Modulo)
• Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN) (Istituto)

Autore CNR

• ENRICO VERONA (Unità di personale interno)
• DOMENICO CANNATA' (Persona)
• VITTORIO FOGLIETTI (Persona)
• FABIO DI PIETRANTONIO (Unità di personale interno)
• MASSIMILIANO BENETTI (Persona)

Incoming links:

Autore CNR di

• ENRICO VERONA (Unità di personale interno)
• FABIO DI PIETRANTONIO (Unità di personale interno)
• MASSIMILIANO BENETTI (Persona)
• VITTORIO FOGLIETTI (Persona)
• DOMENICO CANNATA' (Persona)

Prodotto

• Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN) (Istituto)
• NEMS e MEMS (MD.P06.001.003) (Modulo)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Applied physics letters (Rivista)