http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID246175
Fabrication of low loss MOMS resonators for quantum optics experiments (Articolo in rivista)
- Type
- Label
- Fabrication of low loss MOMS resonators for quantum optics experiments (Articolo in rivista) (literal)
- Anno
- 2013-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi
- 10.1088/0960-1317/23/8/085010 (literal)
- Alternative label
E. Serra (1,2,3); A. Bagolini (4); A. Borrielli (2,5); M. Boscardin (4); F.S. Cataliotti (6,7,8); F. Marin (6,7,8); F. Marino (6,7,9); A.Pontin (2,10); G.A. Prodi (2,10); M. Vannoni (11); M. Bonaldi (2,5) (2013)
Fabrication of low loss MOMS resonators for quantum optics experiments
in Journal of micromechanics and microengineering (Print)
(literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
- E. Serra (1,2,3); A. Bagolini (4); A. Borrielli (2,5); M. Boscardin (4); F.S. Cataliotti (6,7,8); F. Marin (6,7,8); F. Marino (6,7,9); A.Pontin (2,10); G.A. Prodi (2,10); M. Vannoni (11); M. Bonaldi (2,5) (literal)
- Pagina inizio
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#url
- http://iopscience.iop.org/0960-1317/23/8/085010 (literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume
- Rivista
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- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo
- Note
- ISI Web of Science (WOS) (literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
- (1) Interdisciplinary Laboratory for Computational Science (LISC), FBK-University of Trento, I-38123 Povo (Trento), Italy
(2) INFN, Gruppo Collegato di Trento, Sezione di Padova, I-38123 Povo, Trento, Italy
(3) Department of Microelectronics and Computer, Engineering/ECTM/DIMES, Feldmanweg, 17-2628 CT Delft, PO Box 5053, 2600 GB Delft, The Netherlands
(4) Microtechnology Laboratory FBK-CMM, I-38123 Povo, Trento, Italy
(5) Institute of Materials for Electronics and Magnetism, Nanoscience-Trento-FBK Division, I-38123 Povo, Trento, Italy
(6) European Laboratory for Non-Linear Spectroscopy (LENS), Via Carrara 1, I-50019 Sesto Fiorentino (FI), Italy
(7) INFN, Sezione di Firenze, Via Sansone 1, I-50019 Sesto Fiorentino (FI), Italy
(8) Dipartimento di Fisica e Astronomia, Università di Firenze, Via Sansone 1, I-50019 Sesto Fiorentino (FI), Italy
(9) CNR-Istituto dei Sistemi Complessi, Via Madonna del Piano 10, I-50019 Sesto Fiorentino (FI), Italy
(10) Dipartimento di Fisica, Università di Trento, I-38123 Povo (TN), Italy
(11) Istituto Nazionale di Ottica-CNR, Largo Fermi 6, I-50125 Firenze, Italy (literal)
- Titolo
- Fabrication of low loss MOMS resonators for quantum optics experiments (literal)
- Abstract
- We present the fabrication and characterization of opto-mechanical micro-resonators developed to detect radiation-pressure coupling between light and a macroscopic body. The major achievements of this work are the development of complex high aspect ratio shapes by using the deep-RIE Bosch process and the integration of a high-reflectivity dielectric mirror. The micro-resonators were used as an end-mirror of a Fabry-Perot cavity, attaining an optical finesse of about 6 × 104, and at cryogenic temperature (about 10 K) we measured a mechanical quality factor up to 2 × 106 at about 90 kHz. These features make our devices particularly suitable for experiments on quantum-opto-mechanics. (literal)
- Prodotto di
- Autore CNR
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