Improvements towards a reliable fabrication process for cMUT. (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• Improvements towards a reliable fabrication process for cMUT. (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2003-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• Cianci E.; Visigalli L.; Foglietti V.; Caliano G.; Pappalardo M. (2003)
  Improvements towards a reliable fabrication process for cMUT.
  in Microelectronic engineering
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Cianci E.; Visigalli L.; Foglietti V.; Caliano G.; Pappalardo M. (literal)

Pagina inizio

• 602 (literal)

Pagina fine

• 608 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 67-68 (literal)

Rivista

• Microelectronic engineering (Rivista)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Titolo

• Improvements towards a reliable fabrication process for cMUT. (literal)

Prodotto di

• Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN) (Istituto)

Autore CNR

• VITTORIO FOGLIETTI (Persona)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN) (Istituto)

Autore CNR di

• VITTORIO FOGLIETTI (Persona)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Microelectronic engineering (Rivista)