RF MEMS Switches Fabrication by using SU-8 Technology (Contributo in atti di convegno)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Contributo in atti di convegno (Classe)

Label

• RF MEMS Switches Fabrication by using SU-8 Technology (Contributo in atti di convegno) (literal)

Anno

• 2012-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• A.Lucibello, E. Proietti, R. Marcelli, G. De Angelis, G. Bartolucci, F. Giacomozzi (2012)
  RF MEMS Switches Fabrication by using SU-8 Technology
  in DTIP 2012, SYMPOSIUM on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS, Cannes, France, 25-27 April 2012
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• A.Lucibello, E. Proietti, R. Marcelli, G. De Angelis, G. Bartolucci, F. Giacomozzi (literal)

Pagina inizio

• 234 (literal)

Pagina fine

• 239 (literal)

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• http://www.eda-publishing.org/Proceedings/DTIP2012_proceedingsFinalTxt.pdf (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume

• Proceedings of DTIP 2012, SYMPOSIUM on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS, Cannes, France, 25-27 April 2012 (literal)

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• 6 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• CNR-IMM Roma University of Roma \"Tor Vergata\" FBK-irst, Trento (literal)

Titolo

• RF MEMS Switches Fabrication by using SU-8 Technology (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#isbn

• 978-2-35500-020-1 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autoriVolume

• AA.VV. (literal)

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• Arturo AYON Benoit CHARLOT Bernard COURTOIS Jean Michel KARAM Ryutaro MAEDA Peter SCHNEIDER (literal)

Abstract

• In this paper we present a novel process based on SU-8 technology for the fabrication of double clamped RF MEMS capacitive shunt switches in coplanar configuration. The key element of the exploited process is the MicroChem SU-8 2002 negative photoresist. The polymeric material is widely used in MEMS device processes because of its excellent thermal and chemical stability. In this paper, SU-8 polymer has been utilized in a double way to get suspended structures as double clamped beams: (i) SU-8 for the lateral supports, and (ii) as a sacrificial layer for the release of the suspended membrane. Preliminary RF tests on the manufactured switches have been done, and the measured electrical performances are in good agreement with the performed simulations. (literal)

Editore

• EDA Publishing Association (Editore)

Prodotto di

• Microsistemi ad Alta Frequenza: Tecnologie ed Affidabilità per Applicazioni di Terra e Spaziali (MD.P05.020.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• ROMOLO MARCELLI (Persona)
• GIORGIO DE ANGELIS (Persona)
• ANDREA LUCIBELLO (Unità di personale interno)
• EMANUELA PROIETTI (Persona)
• GIANCARLO BARTOLUCCI (Unità di personale esterno)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "RF MEMS Switches Fabrication by using SU-8 Technology" (Insieme di parole chiave)

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Autore CNR di

• ROMOLO MARCELLI (Persona)
• EMANUELA PROIETTI (Persona)
• GIANCARLO BARTOLUCCI (Unità di personale esterno)
• GIORGIO DE ANGELIS (Persona)
• ANDREA LUCIBELLO (Unità di personale interno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Microsistemi ad Alta Frequenza: Tecnologie ed Affidabilità per Applicazioni di Terra e Spaziali (MD.P05.020.001) (Modulo)

Editore di

• EDA Publishing Association (Editore)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "RF MEMS Switches Fabrication by using SU-8 Technology" (Insieme di parole chiave)