Smoothing and Surface Planarization of Sacrificial Layers in MEMS Technology (Contributo in atti di convegno)

Type

• Contributo in atti di convegno (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Smoothing and Surface Planarization of Sacrificial Layers in MEMS Technology (Contributo in atti di convegno) (literal)

Anno

• 2012-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• A. Lucibello, E. Proietti, R. Marcelli, G. Bartolucci (2012)
  Smoothing and Surface Planarization of Sacrificial Layers in MEMS Technology
  in DTIP 2012, SYMPOSIUM on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS, Cannes, France, 25-27 April 2012
  (literal)

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• A. Lucibello, E. Proietti, R. Marcelli, G. Bartolucci (literal)

Pagina inizio

• 22 (literal)

Pagina fine

• 26 (literal)

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• http://www.eda-publishing.org/Proceedings/DTIP2012_proceedingsFinalTxt.pdf (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume

• Proceedings of DTIP 2012, SYMPOSIUM on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS, Cannes, France, 25-27 April 2012 (literal)

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• 5 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• CNR-IMM Roma (literal)

Titolo

• Smoothing and Surface Planarization of Sacrificial Layers in MEMS Technology (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#isbn

• 978-2-35500-020-1 (literal)

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• AA.VV. (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#curatoriVolume

• Arturo AYON Benoit CHARLOT Bernard COURTOIS Jean Michel KARAM Ryutaro MAEDA Peter SCHNEIDER (literal)

Abstract

• In this work we present a novel technology for tailoring the edges of a polymer sacrificial layer by combining multiple techniques. Standard polymers like Shipley Microposit S1818 for the sacrificial layers and gold as a structural layer have been used for our purposes. As a result, oblique profiles of double clamped bridges have been obtained, characterized by an improved homogeneity of the deposited metal thickness on the edges and by a very good surface planarity. (literal)

Editore

• EDA Publishing Association (Editore)

Prodotto di

• Microsistemi ad Alta Frequenza: Tecnologie ed Affidabilità per Applicazioni di Terra e Spaziali (MD.P05.020.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• ROMOLO MARCELLI (Persona)
• ANDREA LUCIBELLO (Unità di personale interno)
• GIANCARLO BARTOLUCCI (Unità di personale esterno)
• EMANUELA PROIETTI (Persona)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Smoothing and Surface Planarization of Sacrificial Layers in MEMS Technology" (Insieme di parole chiave)

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Autore CNR di

• ROMOLO MARCELLI (Persona)
• EMANUELA PROIETTI (Persona)
• GIANCARLO BARTOLUCCI (Unità di personale esterno)
• ANDREA LUCIBELLO (Unità di personale interno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Microsistemi ad Alta Frequenza: Tecnologie ed Affidabilità per Applicazioni di Terra e Spaziali (MD.P05.020.001) (Modulo)

Editore di

• EDA Publishing Association (Editore)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Smoothing and Surface Planarization of Sacrificial Layers in MEMS Technology" (Insieme di parole chiave)