Microwave MEMS Switches in Series Configuration: Technology and Circuital Modeling (Contributo in volume (capitolo o saggio))

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Contributo in volume (capitolo o saggio) (Classe)

Label

• Microwave MEMS Switches in Series Configuration: Technology and Circuital Modeling (Contributo in volume (capitolo o saggio)) (literal)

Anno

• 2005-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1142/9789812701770_0060 (literal)

Alternative label

• Romolo Marcelli, Flavio Giacomozzi, Benno Margesin, Giancarlo Bartolucci and Gianluca Minucci (2005)
  Microwave MEMS Switches in Series Configuration: Technology and Circuital Modeling
  World Scientific Publishing, Londra (Regno Unito) in Sensors and Microsystems, Proceedings of the 9th Italian Conference, 2005
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Romolo Marcelli, Flavio Giacomozzi, Benno Margesin, Giancarlo Bartolucci and Gianluca Minucci (literal)

Pagina inizio

• 351 (literal)

Pagina fine

• 355 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#url

• http://www.worldscientific.com/doi/abs/10.1142/9789812701770_0060 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume

• Sensors and Microsystems, Proceedings of the 9th Italian Conference (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 5 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• CNR-IMM UOS Roma FBK-irst University of Roma \"Tor Vergata\" (literal)

Titolo

• Microwave MEMS Switches in Series Configuration: Technology and Circuital Modeling (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#isbn

• 981-256-386-5 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autoriVolume

• AA.VV. (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#curatoriVolume

• C. Di Natale et al. (literal)

Abstract

• Micromachined MEMS switches for microwave applications have been manufactured, tested and modelled. A series, coplanar waveguide (CPW) configuration has been studied, with the aim to improve the contact resistance. In particular, contact dimples have been included and the shape of the movable bridge has been changed by adding deformable wing-like extensions. Single switch devices have been tested between 0.045 MHz and 40 GHz by measuring on-wafer the scattering electrical parameters. (literal)

Editore

• World Scientific Publishing (Editore)

Prodotto di

• Microsistemi ad Alta Frequenza: Tecnologie ed Affidabilità per Applicazioni di Terra e Spaziali (MD.P05.020.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• ROMOLO MARCELLI (Persona)

Insieme di parole chiave

• Parole chiave di "Microwave MEMS Switches in Series Configuration: Technology and Circuital Modeling" (Insieme di parole chiave)

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Autore CNR di

• ROMOLO MARCELLI (Persona)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Microsistemi ad Alta Frequenza: Tecnologie ed Affidabilità per Applicazioni di Terra e Spaziali (MD.P05.020.001) (Modulo)

Editore di

• World Scientific Publishing (Editore)

Insieme di parole chiave di

• Parole chiave di "Microwave MEMS Switches in Series Configuration: Technology and Circuital Modeling" (Insieme di parole chiave)