First realization and characterization of multilayer EUV reflective coatings (Contributo in atti di convegno)

Type
Label
  • First realization and characterization of multilayer EUV reflective coatings (Contributo in atti di convegno) (literal)
Anno
  • 2001-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • M.G. Pelizzo, P. Nicolosi, V. Rigato, A. Patelli, G. Maggioni, L. Poletto, P. Mazzoldi, G. Tondello (2001)
    First realization and characterization of multilayer EUV reflective coatings
    in SPIE Optics and Photonics 2001
    (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
  • M.G. Pelizzo, P. Nicolosi, V. Rigato, A. Patelli, G. Maggioni, L. Poletto, P. Mazzoldi, G. Tondello (literal)
Pagina inizio
  • 75 (literal)
Pagina fine
  • 83 (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume
  • Soft X-Ray and EUV Imaging Systems II (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#volumeInCollana
  • 4506 (literal)
Note
  • ISI Web of Science (WOS) (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
  • Univ Padua, Dipartimento Elettron & Informat, INFM, I-35131 Padua, Italy (literal)
Titolo
  • First realization and characterization of multilayer EUV reflective coatings (literal)
Prodotto di
Autore CNR

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