Structural and morphological evolution of aluminum nitride thin films: influence of additional energy to the sputtering process (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• Structural and morphological evolution of aluminum nitride thin films: influence of additional energy to the sputtering process (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2013-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/j.jpcs.2013.05.003 (literal)

Alternative label

• M.A. Signore, E. Bellini, A. Taurino, M. Catalano, M.C. Martucci, P. Cretì, L. Vasanelli, P. Siciliano, F. Quaranta (2013)
  Structural and morphological evolution of aluminum nitride thin films: influence of additional energy to the sputtering process
  in Journal of physics and chemistry of solids
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• M.A. Signore, E. Bellini, A. Taurino, M. Catalano, M.C. Martucci, P. Cretì, L. Vasanelli, P. Siciliano, F. Quaranta (literal)

Pagina inizio

• 1444 (literal)

Pagina fine

• 1451 (literal)

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• http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0022369713001911 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 74 (literal)

Rivista

• Journal of physics and chemistry of solids (Rivista)

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• 8 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo

• 10 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• Istituto per la Microelettronica e i Microsistemi IMM-CNR, Campus Universitario, SP per Monteroni, 73100 Lecce, Italy (literal)

Titolo

• Structural and morphological evolution of aluminum nitride thin films: influence of additional energy to the sputtering process (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• MARIA ASSUNTA SIGNORE (Unità di personale interno)
• FABIO QUARANTA (Unità di personale interno)
• PIETRO ALEARDO SICILIANO (Unità di personale interno)
• MASSIMO CATALANO (Persona)
• MARIA CONCETTA MARTUCCI (Persona)
• PASQUALE CRETI' (Persona)
• ANTONIETTA TAURINO (Unità di personale interno)

Incoming links:

Autore CNR di

• MASSIMO CATALANO (Persona)
• MARIA CONCETTA MARTUCCI (Persona)
• PIETRO ALEARDO SICILIANO (Unità di personale interno)
• ANTONIETTA TAURINO (Unità di personale interno)
• PASQUALE CRETI' (Persona)
• FABIO QUARANTA (Unità di personale interno)
• MARIA ASSUNTA SIGNORE (Unità di personale interno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

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• Journal of physics and chemistry of solids (Rivista)