Caratterizzazione e fabbricazione con tecnica RF-sputtering di strutture confinate dielettriche (Contributo in atti di convegno)

Type
Label
  • Caratterizzazione e fabbricazione con tecnica RF-sputtering di strutture confinate dielettriche (Contributo in atti di convegno) (literal)
Anno
  • 2011-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • A.Chiasera, M. Ferrari, M. Mazzola, S. Varas, E.Moser, S. Valligatla, V. Foglietti, G. Nunzi Conti, S. Pelli, G.C. Righini. (2011)
    Caratterizzazione e fabbricazione con tecnica RF-sputtering di strutture confinate dielettriche
    in FOTONICA 2011, 13° Convegno Nazionale delle Tecnologie Fotoniche, Genova, 9-11 maggio 2011
    (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
  • A.Chiasera, M. Ferrari, M. Mazzola, S. Varas, E.Moser, S. Valligatla, V. Foglietti, G. Nunzi Conti, S. Pelli, G.C. Righini. (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume
  • Atti FOTONICA 2011, 13° Convegno Nazionale delle Tecnologie Fotoniche Genova, Palazzo Ducale, 9-11 maggio 2011. (literal)
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  • A. Chiasera, M. Ferrari, M. Mazzola, S. Varas [CNR-IFN, CSMFO Lab., via alla Cascata 56/c, 38123 Trento, Italy] E. Moser [Physics Dept., Trento University & CSMFO Lab., via Sommarive 14, 38123 Trento, Italy.] S. Valligatla [CNR-IFN, CSMFO Lab, Trento Univ, & Hyderabad Univ, via Sommarive 14, 38123 Trento, Italy.] V. Foglietti [CNR-IFN, MEMS group, Via Cineto Romano 42, 00156 Roma, Italy.] G. Nunzi Conti, S. Pelli, G.C. Righini [CNR-IFAC, MDF Lab., via Madonna del Piano 10, 50019 Sesto Fiorentino-Firenze, Italy.] (literal)
Titolo
  • Caratterizzazione e fabbricazione con tecnica RF-sputtering di strutture confinate dielettriche (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#isbn
  • 9788887237122 (literal)
Abstract
  • This Paper is an overview of recent advances in photonics structures obtained in erbium-activated glasses fabricated by rf-sputtering technique. The fabrication protocols as well as the spectroscopic assessment of SiO2-HfO2 active waveguides and 1-D microcavity will be presented. (literal)
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