Optimization of electron beam induced deposition process for the fabrication of diode-like Pt/SiO2/W devices (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Optimization of electron beam induced deposition process for the fabrication of diode-like Pt/SiO2/W devices (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2013-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• Antonietta Taurino, Isabella Farella, Adriano Cola, Mauro Lomascolo, Fabio Quaranta, and Massimo Catalano (2013)
  Optimization of electron beam induced deposition process for the fabrication of diode-like Pt/SiO2/W devices
  in Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures
  (literal)

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• Antonietta Taurino, Isabella Farella, Adriano Cola, Mauro Lomascolo, Fabio Quaranta, and Massimo Catalano (literal)

Pagina inizio

• 041805-1 (literal)

Pagina fine

• 041805-8 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 31 (literal)

Rivista

• Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures (Rivista)

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• 4 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• Istituto per la Microelettronica e i Microsistemi IMM-CNR, Campus Universitario, SP per Monteroni, 73100 Lecce, Italy (literal)

Titolo

• Optimization of electron beam induced deposition process for the fabrication of diode-like Pt/SiO2/W devices (literal)

Prodotto di

• materiali e processi per la realizzazione di dispositivi per la conversione di energia (MD.P05.019.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• ADRIANO COLA (Unità di personale interno)
• MAURO LOMASCOLO (Persona)
• ANTONIETTA TAURINO (Unità di personale interno)
• FABIO QUARANTA (Unità di personale interno)
• ISABELLA FARELLA (Persona)
• MASSIMO CATALANO (Persona)

Incoming links:

Autore CNR di

• MASSIMO CATALANO (Persona)
• MAURO LOMASCOLO (Persona)
• ADRIANO COLA (Unità di personale interno)
• ANTONIETTA TAURINO (Unità di personale interno)
• FABIO QUARANTA (Unità di personale interno)
• ISABELLA FARELLA (Persona)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• materiali e processi per la realizzazione di dispositivi per la conversione di energia (MD.P05.019.001) (Modulo)

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• Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures (Rivista)