Fabrication and characterization of polymeric optical waveguides using standard silicon processing technology (Contributo in atti di convegno)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Contributo in atti di convegno (Classe)

Label

• Fabrication and characterization of polymeric optical waveguides using standard silicon processing technology (Contributo in atti di convegno) (literal)

Anno

• 2005-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1109/WFOPC.2005.1462137 (literal)

Alternative label

• R. L. Oliveri, A. Sciuto, S. Libertino, G. D'Arrigo, C. Arnone (2005)
  Fabrication and characterization of polymeric optical waveguides using standard silicon processing technology
  in 4th IEEE/LEOS Workshop on Fibres and Optical Passive Components, Mondello, ITALIA, JUN 22-24, 2005
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• R. L. Oliveri, A. Sciuto, S. Libertino, G. D'Arrigo, C. Arnone (literal)

Pagina inizio

• 265 (literal)

Pagina fine

• 270 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume

• Proceedings of WFOPC 2005: 4th IEEE/LEOS Workshop on Fibres and Optical Passive Components (literal)

Rivista

• Conference proceedings - LEOS (Conference). 1996 (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 6 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• Dipartimento di Fisica e Tecnologie Relative, University of Palermo, Viale delle Scienze, 90128,Palermo, Italy; CNR-IMM,sez. Catania, Str.le Primosole 50, 95121,Catania, Italy; Dipartimento di Ingegneria Elettrica, Elettronica e delle Telecomunicazioni, University of Palermo, Viale delle Scienze, 90128, Palermo, Italy (literal)

Titolo

• Fabrication and characterization of polymeric optical waveguides using standard silicon processing technology (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#isbn

• 0-7803-8949-2 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autoriVolume

• AA.VV. (literal)

Abstract

• We report the fabrication and characterization of a rib polymeric waveguide having a thick layer of oxidized porous silicon as an innovative solution for the lower cladding. The waveguide was fabricated using standard silicon substrates and Si-based technology. The multimodal guiding structure has a polymethylmetacrylate (PMMA) core and the innovative lower cladding was obtained by thermal oxidation of a porous silicon layer. The waveguide does not have the upper cladding. Propagation loss measurements were performed at 1.48 mu m using the cut-back method. We obtained propagation loss of about 1.7 dB/cm, confirming the possibility to use the porous silicon oxide as the lower cladding layer, for low cost waveguide applications. (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi sensori in tecnologia planare (MD.P05.023.002) (Modulo)

Autore CNR

• SEBANIA LIBERTINO (Unità di personale interno)
• GIUSEPPE ALESSIO MARIA D'ARRIGO (Unità di personale interno)
• ANTONELLA SCIUTO (Unità di personale interno)

Incoming links:

Autore CNR di

• SEBANIA LIBERTINO (Unità di personale interno)
• GIUSEPPE ALESSIO MARIA D'ARRIGO (Unità di personale interno)
• ANTONELLA SCIUTO (Unità di personale interno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi sensori in tecnologia planare (MD.P05.023.002) (Modulo)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Conference proceedings - LEOS (Conference). 1996 (Rivista)