Investigation of sputtered amorphous silicon and silicon oxynitride multilayers (Abstract/Poster in atti di convegno)

Type
Label
  • Investigation of sputtered amorphous silicon and silicon oxynitride multilayers (Abstract/Poster in atti di convegno) (literal)
Anno
  • 2004-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • M. Serényi 1, T. Lohner 1 and C. Frigeri 2 (2004)
    Investigation of sputtered amorphous silicon and silicon oxynitride multilayers
    in JVC 10 (10th Joint Vacuum Conference), Portoroz (Slovenia), Sept. 28 - Oct. 2, 2004
    (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
  • M. Serényi 1, T. Lohner 1 and C. Frigeri 2 (literal)
Pagina inizio
  • 46 (literal)
Pagina fine
  • 46 (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume
  • 10th Joint Vacuum Conference (JVC-10) (literal)
Note
  • Abstract (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
  • 1 Research Institute for Technical Physics and Materials Science, Hungarian Academy of Sciences, P.O. Box 49, H-1525 Budapest, Hungary; 2 CNR- IMEM Institute, Parco Area delle Scienze 37/A, 43100 Parma, Italy (literal)
Titolo
  • Investigation of sputtered amorphous silicon and silicon oxynitride multilayers (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autoriVolume
  • Tbv1Dru?tvo za Vakuumsko Tehniko Slovenije (literal)
Editore
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Autore CNR
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