Competition between Internal and Heavy Doping Gettering Options in epi Silicon (Abstract/Comunicazione in atti di convegno)

Type

• Abstract/Comunicazione in atti di convegno (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Competition between Internal and Heavy Doping Gettering Options in epi Silicon (Abstract/Comunicazione in atti di convegno) (literal)

Anno

• 2005-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• C. Frigeri, E. Gombia and A. Motta (2005)
  Competition between Internal and Heavy Doping Gettering Options in epi Silicon
  in DRIP XI, 11th International Conference on Defects: Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors, Beijing (Cina), 15 - 19 sett. 2005
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• C. Frigeri, E. Gombia and A. Motta (literal)

Pagina inizio

• 33 (literal)

Pagina fine

• 33 (literal)

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• abstract book (literal)

Note

• Comunicazione (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• CNR- IMEM Institute, Parco Area delle Scienze 37/A, 43100 Parma, Italy (literal)

Titolo

• Competition between Internal and Heavy Doping Gettering Options in epi Silicon (literal)

Prodotto di

• Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo (IMEM) (Istituto)

Autore CNR

• ALBERTO MOTTA (Unità di personale interno)
• ENOS GOMBIA (Persona)
• CESARE FRIGERI (Persona)

Insieme di parole chiave

• Parole chiave di "Competition between Internal and Heavy Doping Gettering Options in epi Silicon" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo (IMEM) (Istituto)

Autore CNR di

• ALBERTO MOTTA (Unità di personale interno)
• ENOS GOMBIA (Persona)
• CESARE FRIGERI (Persona)

Insieme di parole chiave di

• Parole chiave di "Competition between Internal and Heavy Doping Gettering Options in epi Silicon" (Insieme di parole chiave)