http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID226938
Wafer Bending Mechanism During the Growth of SiC Films on Si (Abstract/Poster in atti di convegno)
- Type
- Label
- Wafer Bending Mechanism During the Growth of SiC Films on Si (Abstract/Poster in atti di convegno) (literal)
- Anno
- 2008-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
- Alternative label
B. E. Watts, G. Attolini, M. Bosi, C. Frigeri, C. Ferrari (2008)
Wafer Bending Mechanism During the Growth of SiC Films on Si
in 7th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials, Barcelona (E), 7-11 settembre 2008,
(literal)
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- B. E. Watts, G. Attolini, M. Bosi, C. Frigeri, C. Ferrari (literal)
- Pagina inizio
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- Note
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- CNR-IMEM, Parma (literal)
- Titolo
- Wafer Bending Mechanism During the Growth of SiC Films on Si (literal)
- Prodotto di
- Autore CNR
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