Wafer Bending Mechanism During the Growth of SiC Films on Si (Abstract/Poster in atti di convegno)

Type
Label
  • Wafer Bending Mechanism During the Growth of SiC Films on Si (Abstract/Poster in atti di convegno) (literal)
Anno
  • 2008-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • B. E. Watts, G. Attolini, M. Bosi, C. Frigeri, C. Ferrari (2008)
    Wafer Bending Mechanism During the Growth of SiC Films on Si
    in 7th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials, Barcelona (E), 7-11 settembre 2008,
    (literal)
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  • B. E. Watts, G. Attolini, M. Bosi, C. Frigeri, C. Ferrari (literal)
Pagina inizio
  • WeP-13 (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume
  • abstarct book (literal)
Note
  • Poster (literal)
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  • CNR-IMEM, Parma (literal)
Titolo
  • Wafer Bending Mechanism During the Growth of SiC Films on Si (literal)
Prodotto di
Autore CNR
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