Titanium interlayer to improve the adhesion of multilayer amorphous boron carbide coating on silicon substrate (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Titanium interlayer to improve the adhesion of multilayer amorphous boron carbide coating on silicon substrate (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2013-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/j.apsusc.2012.11.123 (literal)

Alternative label

• Vassallo E.; Caniello R.; Cremona A.; Dellasega D.; Miorin E. (2013)
  Titanium interlayer to improve the adhesion of multilayer amorphous boron carbide coating on silicon substrate
  in Applied surface science
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Vassallo E.; Caniello R.; Cremona A.; Dellasega D.; Miorin E. (literal)

Pagina inizio

• 170 (literal)

Pagina fine

• 175 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#url

• http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0169433212020971 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 266 (literal)

Rivista

• Applied surface science (Rivista)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)
• Scopu (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• 1-3 : CNR, Istituto di Fisica Del Plasma P.Caldirola, Italy / 4 : Politecnico di Milano, Dipartimento di Energia, Italy / 5 : CNR, Istituto per l'Energetica e le Interfasi, Italy (literal)

Titolo

• Titanium interlayer to improve the adhesion of multilayer amorphous boron carbide coating on silicon substrate (literal)

Abstract

• Boron-based coatings can be very useful in neutrons detection application. Here, stable boron carbon (BC) films in nanometer scale were deposited on silicon substrates with titanium interlayer by RF plasma magnetron sputtering. Ti interlayer is likely to decrease the internal stress at the substrate-film interface, thus smoothing the difference in lattice parameters between the growing film and substrate. The B-C/Ti/Si coatings were characterized using SEM, EDS, AFM and XRD. The enhancement in adhesion of the B-C film to the substrate was analyzed by a scratch tester measurements. (literal)

Prodotto di

• Institute of Condensed Matter Chemistry and Energy Technologies (ICMATE) (Istituto)
• Sviluppo di Impianti e Strumentazione per i Plasmi e per la Fusione Termonucleare (ET.P05.002.001) (Modulo)
• Istituto di fisica del plasma \"Piero Caldirola\" (IFP) (Istituto)
• Leghe metalliche e ossidi nanostrutturati per dispositivi IT-SOFC, per nanofluidi, per materiali termoelettrici e loro applicazioni industriali (ET.P06.009.001) (Modulo)

Autore CNR

• DAVID DELLASEGA (Unità di personale esterno)
• ANNA CREMONA (Persona)
• ROBERTO CANIELLO (Persona)
• ENRICO MIORIN (Persona)
• ESPEDITO VASSALLO (Unità di personale interno)

Insieme di parole chiave

• Parole chiave di "Titanium interlayer to improve the adhesion of multilayer amorphous boron carbide coating on silicon substrate" (Insieme di parole chiave)

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Prodotto

• Istituto di fisica del plasma \"Piero Caldirola\" (IFP) (Istituto)
• Institute of Condensed Matter Chemistry and Energy Technologies (ICMATE) (Istituto)
• Leghe metalliche e ossidi nanostrutturati per dispositivi IT-SOFC, per nanofluidi, per materiali termoelettrici e loro applicazioni industriali (ET.P06.009.001) (Modulo)
• Sviluppo di Impianti e Strumentazione per i Plasmi e per la Fusione Termonucleare (ET.P05.002.001) (Modulo)

Autore CNR di

• ESPEDITO VASSALLO (Unità di personale interno)
• ENRICO MIORIN (Persona)
• DAVID DELLASEGA (Unità di personale esterno)
• ROBERTO CANIELLO (Persona)
• ANNA CREMONA (Persona)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Applied surface science (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Parole chiave di "Titanium interlayer to improve the adhesion of multilayer amorphous boron carbide coating on silicon substrate" (Insieme di parole chiave)