Study of the connection between stacking faults evolution and step kinetics in misoriented 4H-SiC epitaxial growths (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Study of the connection between stacking faults evolution and step kinetics in misoriented 4H-SiC epitaxial growths (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2011-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/j.susc.2011.07.010 (literal)

Alternative label

• Camarda, M., La Via, F., La Magna, A. (2011)
  Study of the connection between stacking faults evolution and step kinetics in misoriented 4H-SiC epitaxial growths
  in Surface science
  (literal)

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• Camarda, M., La Via, F., La Magna, A. (literal)

Pagina inizio

• L67 (literal)

Pagina fine

• L69 (literal)

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• a (literal)

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• 605 (literal)

Rivista

• Surface science (Rivista)

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• 21-22 (literal)

Note

• Scopus (literal)

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• CNR-IMM (literal)

Titolo

• Study of the connection between stacking faults evolution and step kinetics in misoriented 4H-SiC epitaxial growths (literal)

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• ita (literal)

Abstract

• Three dimensional Kinetic Monte Carlo simulations on super-lattices are applied to study the evolution of several types of stacking faults during homo-epitaxial growths of (11-20) misoriented 4H silicon carbide (SiC). We show that these defects can either propagate throughout the entire epilayer (i.e. extended from the substrate up to the surface) or close in dislocation loops, in dependence on the surface kinetics. Furthermore, we demonstrate that the surface instability rules both stacking fault propagation and step bunching mechanism. (literal)

Prodotto di

• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)
• MASSIMO CAMARDA (Unità di personale esterno)
• ANTONINO LA MAGNA (Persona)

Incoming links:

Autore CNR di

• ANTONINO LA MAGNA (Persona)
• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)
• MASSIMO CAMARDA (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Surface science (Rivista)