Micro-Raman analysis of a micromachined 3C-SiC cantilever (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• Micro-Raman analysis of a micromachined 3C-SiC cantilever (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2012-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.4028/www.scientific.net/MSF.717-720.525 (literal)

Alternative label

• Piluso, N. and Anzalone, R. and Camarda, M. and Severino, A. and D'Arrigo, G. and La Magna, A. and La Via, F. (2012)
  Micro-Raman analysis of a micromachined 3C-SiC cantilever
  in Materials science forum
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Piluso, N. and Anzalone, R. and Camarda, M. and Severino, A. and D'Arrigo, G. and La Magna, A. and La Via, F. (literal)

Pagina inizio

• 525 (literal)

Pagina fine

• 528 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 717-720 (literal)

Rivista

• Materials science forum (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• CNR-IMM (literal)

Titolo

• Micro-Raman analysis of a micromachined 3C-SiC cantilever (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)

Autore CNR

• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)
• RUGGERO ANZALONE (Unità di personale esterno)
• GIUSEPPE ALESSIO MARIA D'ARRIGO (Unità di personale interno)
• ANTONINO LA MAGNA (Persona)
• NICOLO' PILUSO (Unità di personale esterno)
• MASSIMO CAMARDA (Unità di personale esterno)

Incoming links:

Autore CNR di

• ANTONINO LA MAGNA (Persona)
• GIUSEPPE ALESSIO MARIA D'ARRIGO (Unità di personale interno)
• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)
• NICOLO' PILUSO (Unità di personale esterno)
• RUGGERO ANZALONE (Unità di personale esterno)
• MASSIMO CAMARDA (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Materials science forum (Rivista)