Extended characterization of the stress fields in the heteroepitaxial growth of 3C-SiC on silicon for sensors and device applications (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• Extended characterization of the stress fields in the heteroepitaxial growth of 3C-SiC on silicon for sensors and device applications (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2012-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.4028/www.scientific.net/MSF.717-720.517 (literal)

Alternative label

• Camarda, M. and Anzalone, R. and Piluso, N. and Severino, A. and Canino, A. and La Via, F. and La Magna, A. (2012)
  Extended characterization of the stress fields in the heteroepitaxial growth of 3C-SiC on silicon for sensors and device applications
  in Materials science forum
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Camarda, M. and Anzalone, R. and Piluso, N. and Severino, A. and Canino, A. and La Via, F. and La Magna, A. (literal)

Pagina inizio

• 517 (literal)

Pagina fine

• 520 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 717-720 (literal)

Rivista

• Materials science forum (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• CNR-IMM (literal)

Titolo

• Extended characterization of the stress fields in the heteroepitaxial growth of 3C-SiC on silicon for sensors and device applications (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)

Autore CNR

• MASSIMO CAMARDA (Unità di personale esterno)
• NICOLO' PILUSO (Unità di personale esterno)
• RUGGERO ANZALONE (Unità di personale esterno)
• ANTONINO LA MAGNA (Persona)
• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)

Incoming links:

Autore CNR di

• ANTONINO LA MAGNA (Persona)
• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)
• NICOLO' PILUSO (Unità di personale esterno)
• RUGGERO ANZALONE (Unità di personale esterno)
• MASSIMO CAMARDA (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Materials science forum (Rivista)