Stress fields analysis in 3C-SiC free-standing microstructures by micro-Raman spectroscopy (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• Stress fields analysis in 3C-SiC free-standing microstructures by micro-Raman spectroscopy (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2012-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/j.tsf.2011.12.078 (literal)

Alternative label

• Piluso, N. and Anzalone, R. and Camarda, M. and Severino, A. and D'Arrigo, G. and La Via, F. (2012)
  Stress fields analysis in 3C-SiC free-standing microstructures by micro-Raman spectroscopy
  in Thin solid films (Print)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Piluso, N. and Anzalone, R. and Camarda, M. and Severino, A. and D'Arrigo, G. and La Via, F. (literal)

Pagina inizio

• 20 (literal)

Pagina fine

• 22 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 522 (literal)

Rivista

• Thin solid films (Rivista)

Note

• Scopus (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• CNR_IMM (literal)

Titolo

• Stress fields analysis in 3C-SiC free-standing microstructures by micro-Raman spectroscopy (literal)

Prodotto di

• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• GIUSEPPE ALESSIO MARIA D'ARRIGO (Unità di personale interno)
• NICOLO' PILUSO (Unità di personale esterno)
• RUGGERO ANZALONE (Unità di personale esterno)
• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)
• MASSIMO CAMARDA (Unità di personale esterno)

Incoming links:

Autore CNR di

• GIUSEPPE ALESSIO MARIA D'ARRIGO (Unità di personale interno)
• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)
• NICOLO' PILUSO (Unità di personale esterno)
• RUGGERO ANZALONE (Unità di personale esterno)
• MASSIMO CAMARDA (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)

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• Thin solid films (Rivista)