Patterned substrate with inverted silicon pyramids for 3C-SiC epitaxial growth: A comparison with conventional (001) Si substrate (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Patterned substrate with inverted silicon pyramids for 3C-SiC epitaxial growth: A comparison with conventional (001) Si substrate (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2013-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1557/jmr.2012.268 (literal)

Alternative label

• La Via, F. and D'Arrigo, G. and Severino, A. and Piluso, N. and Mauceri, M. and Locke, C. and Saddow, S.E. (2013)
  Patterned substrate with inverted silicon pyramids for 3C-SiC epitaxial growth: A comparison with conventional (001) Si substrate
  in Journal of materials research
  (literal)

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• La Via, F. and D'Arrigo, G. and Severino, A. and Piluso, N. and Mauceri, M. and Locke, C. and Saddow, S.E. (literal)

Pagina inizio

• 94 (literal)

Pagina fine

• 103 (literal)

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• 28 (literal)

Rivista

• Journal of materials research (Rivista)

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• 1 (literal)

Note

• Scopus (literal)

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• IMM, ETC, Tampa University (literal)

Titolo

• Patterned substrate with inverted silicon pyramids for 3C-SiC epitaxial growth: A comparison with conventional (001) Si substrate (literal)

Prodotto di

• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)
• GIUSEPPE ALESSIO MARIA D'ARRIGO (Unità di personale interno)
• NICOLO' PILUSO (Unità di personale esterno)

Incoming links:

Autore CNR di

• GIUSEPPE ALESSIO MARIA D'ARRIGO (Unità di personale interno)
• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)
• NICOLO' PILUSO (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)

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• Journal of materials research (Rivista)