Stress relaxation study in 3C-SiC microstructures by micro-raman analysis and finite element modeling (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Stress relaxation study in 3C-SiC microstructures by micro-raman analysis and finite element modeling (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2013-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.4028/www.scientific.net/MSF.740-742.673 (literal)

Alternative label

• Piluso, N. and Anzalone, R. and Severino, A. and Canino, A. and La Magna, A. and D'Arrigo, G. and La Via, F. (2013)
  Stress relaxation study in 3C-SiC microstructures by micro-raman analysis and finite element modeling
  in Materials science forum
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Piluso, N. and Anzalone, R. and Severino, A. and Canino, A. and La Magna, A. and D'Arrigo, G. and La Via, F. (literal)

Pagina inizio

• 673 (literal)

Pagina fine

• 676 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 740-742 (literal)

Rivista

• Materials science forum (Rivista)

Note

• Scopus (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• IMM (literal)

Titolo

• Stress relaxation study in 3C-SiC microstructures by micro-raman analysis and finite element modeling (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)

Autore CNR

• NICOLO' PILUSO (Unità di personale esterno)
• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)
• ANTONINO LA MAGNA (Persona)
• RUGGERO ANZALONE (Unità di personale esterno)
• GIUSEPPE ALESSIO MARIA D'ARRIGO (Unità di personale interno)

Incoming links:

Autore CNR di

• ANTONINO LA MAGNA (Persona)
• GIUSEPPE ALESSIO MARIA D'ARRIGO (Unità di personale interno)
• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)
• NICOLO' PILUSO (Unità di personale esterno)
• RUGGERO ANZALONE (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)

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• Materials science forum (Rivista)