Effects of Al ion implantation on 3C-SiC crystal structure (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• Effects of Al ion implantation on 3C-SiC crystal structure (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2013-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.4028/www.scientific.net/MSF.740-742.613 (literal)

Alternative label

• Severino, A. and Piluso, N. and Marino, A. and La Via, F. (2013)
  Effects of Al ion implantation on 3C-SiC crystal structure
  in Materials science forum
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Severino, A. and Piluso, N. and Marino, A. and La Via, F. (literal)

Pagina inizio

• 613 (literal)

Pagina fine

• 616 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 740-742 (literal)

Rivista

• Materials science forum (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• IMM (literal)

Titolo

• Effects of Al ion implantation on 3C-SiC crystal structure (literal)

Prodotto di

• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• NICOLO' PILUSO (Unità di personale esterno)
• ANTONIO DAMASO MARIA MARINO (Unità di personale interno)
• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)

Incoming links:

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)

Autore CNR di

• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)
• ANTONIO DAMASO MARIA MARINO (Unità di personale interno)
• NICOLO' PILUSO (Unità di personale esterno)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Materials science forum (Rivista)