Post-growth process effect on hetero-epitxial 3C-SiC wafer bow and residual stress (Articolo in rivista)

Type
Label
  • Post-growth process effect on hetero-epitxial 3C-SiC wafer bow and residual stress (Articolo in rivista) (literal)
Anno
  • 2013-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • Anzalone, R. and Camarda, M. and Auditore, A. and Piluso, N. and Severino, A. and La Magna, A. and D'Arrigo, G. and La Via, F. (2013)
    Post-growth process effect on hetero-epitxial 3C-SiC wafer bow and residual stress
    in Materials science forum
    (literal)
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  • Anzalone, R. and Camarda, M. and Auditore, A. and Piluso, N. and Severino, A. and La Magna, A. and D'Arrigo, G. and La Via, F. (literal)
Pagina inizio
  • 301 (literal)
Pagina fine
  • 305 (literal)
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  • 740-742 (literal)
Rivista
Note
  • Scopus (literal)
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  • CNR-IMM (literal)
Titolo
  • Post-growth process effect on hetero-epitxial 3C-SiC wafer bow and residual stress (literal)
Prodotto di
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