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Nanocrystal MOS with silicon-rich oxide (Contributo in atti di convegno)
- Type
- Label
- Nanocrystal MOS with silicon-rich oxide (Contributo in atti di convegno) (literal)
- Anno
- 2002-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
- Alternative label
Crupi I, Lombardo S, Gerardi C, Fazio B, Vulpio M, Rimini E, Melanotte M (2002)
Nanocrystal MOS with silicon-rich oxide
in Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology
(literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
- Crupi I, Lombardo S, Gerardi C, Fazio B, Vulpio M, Rimini E, Melanotte M (literal)
- Pagina inizio
- Pagina fine
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- Rivista
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
- [ 1 ] Catania Univ, Dept Phys, IT-95129 Catania, Italy
[ 2 ] Catania Univ, INFM, IT-95129 Catania, Italy
[ 3 ] CNR, IMETEM, IT-95121 Catania, Italy
[ 4 ] STMicroelect, Catania Technol Ctr, Cent R&D, IT-95121 Catania, Italy (literal)
- Titolo
- Nanocrystal MOS with silicon-rich oxide (literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#isbn
- Abstract
- By electrical measurements we investigate the charge trapping and the charge transport in MOS capacitors in which the gate oxide has been replaced with a silicon rich oxide (SRO) film sandwiched between two thin SiO2 layers. (literal)
- Prodotto di
- Autore CNR
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