Nanocrystal MOS with silicon-rich oxide (Contributo in atti di convegno)

Type
Label
  • Nanocrystal MOS with silicon-rich oxide (Contributo in atti di convegno) (literal)
Anno
  • 2002-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • Crupi I, Lombardo S, Gerardi C, Fazio B, Vulpio M, Rimini E, Melanotte M (2002)
    Nanocrystal MOS with silicon-rich oxide
    in Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology
    (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
  • Crupi I, Lombardo S, Gerardi C, Fazio B, Vulpio M, Rimini E, Melanotte M (literal)
Pagina inizio
  • 675 (literal)
Pagina fine
  • 680 (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume
  • 82-84 (literal)
Rivista
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
  • [ 1 ] Catania Univ, Dept Phys, IT-95129 Catania, Italy [ 2 ] Catania Univ, INFM, IT-95129 Catania, Italy [ 3 ] CNR, IMETEM, IT-95121 Catania, Italy [ 4 ] STMicroelect, Catania Technol Ctr, Cent R&D, IT-95121 Catania, Italy (literal)
Titolo
  • Nanocrystal MOS with silicon-rich oxide (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#isbn
  • 3-908450-64-0 (literal)
Abstract
  • By electrical measurements we investigate the charge trapping and the charge transport in MOS capacitors in which the gate oxide has been replaced with a silicon rich oxide (SRO) film sandwiched between two thin SiO2 layers. (literal)
Prodotto di
Autore CNR

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