Morphological and Electrical Characterization of Electrically Trimmable Thin-Film Resistors (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Morphological and Electrical Characterization of Electrically Trimmable Thin-Film Resistors (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2012-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• Privitera S, Le Neel O, Leung C, Dumont-Girard P, Cialdella B, Bongiorno C, Modica R (2012)
  Morphological and Electrical Characterization of Electrically Trimmable Thin-Film Resistors
  in I.E.E.E. transactions on electron devices
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Privitera S, Le Neel O, Leung C, Dumont-Girard P, Cialdella B, Bongiorno C, Modica R (literal)

Pagina inizio

• 3549 (literal)

Pagina fine

• 3554 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#url

• http://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=6329943 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 59 (literal)

Rivista

• I.E.E.E. transactions on electron devices (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 6 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo

• 12 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• [ 1 ] CNR, IMM, I-95121 Catania, Italy [ 2 ] STMicroelect Pte Ltd, Ang Mo Kio 569508, Singapore [ 3 ] STMicroelectronics, F-38019 Grenoble, France [ 4 ] STMicroelectronics, R&D Dept, I-95121 Catania, Italy (literal)

Titolo

• Morphological and Electrical Characterization of Electrically Trimmable Thin-Film Resistors (literal)

Abstract

• SiCr-based thin-film resistors with low temperature coefficient of resistance (TCR) have been integrated in a 0.8-mu m BiCMOS technology in a dual thin-film structure, with a heater close to the thin-film resistor. Such a structure allows modifying the thin-film resistance by applying electric pulses to the heater (trimming). The morphology and the electrical properties of the as-deposited and modified thin-film resistors have been studied through transmission electron microscopy analyses and electrical measurements as a function of temperature. Structural analyses have shown the formation of Cr-rich layers at the interfaces. The experimentally observed resistance reduction upon trimming and the TCR variation have been both successfully reproduced by considering the effective medium approximation and by treating the film as a mixture of two materials with different compositions and conductivities. (literal)

Prodotto di

• Nuovi Dispositivi di Silicio Oltre il CMOS Scaling (MD.P05.023.001) (Modulo)
• Materiali nanostrutturati a base di Carbonio (MD.P05.005.005) (Modulo)
• Materiali multifunzionali, e innovativi per componenti integrati (MD.P05.003.002) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)

Autore CNR

• CORRADO BONGIORNO (Unità di personale interno)
• STEFANIA MARIA SERENA PRIVITERA (Persona)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Morphological and Electrical Characterization of Electrically Trimmable Thin-Film Resistors" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi Dispositivi di Silicio Oltre il CMOS Scaling (MD.P05.023.001) (Modulo)
• Materiali multifunzionali, e innovativi per componenti integrati (MD.P05.003.002) (Modulo)
• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)
• Materiali nanostrutturati a base di Carbonio (MD.P05.005.005) (Modulo)

Autore CNR di

• CORRADO BONGIORNO (Unità di personale interno)
• STEFANIA MARIA SERENA PRIVITERA (Persona)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• I.E.E.E. transactions on electron devices (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Morphological and Electrical Characterization of Electrically Trimmable Thin-Film Resistors" (Insieme di parole chiave)