Large area optical characterization of 3 and 4 inches 4H-SiC wafers (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• Large area optical characterization of 3 and 4 inches 4H-SiC wafers (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2012-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/j.tsf.2012.02.013 (literal)

Alternative label

• Canino A, Piluso N, La Via F (2012)
  Large area optical characterization of 3 and 4 inches 4H-SiC wafers
  in Thin solid films (Print)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Canino A, Piluso N, La Via F (literal)

Pagina inizio

• 30 (literal)

Pagina fine

• 32 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#url

• http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0040609012001307# (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 522 (literal)

Rivista

• Thin solid films (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 3 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• [ 1 ] CNR, IMM, I-95121 Catania, Italy (literal)

Titolo

• Large area optical characterization of 3 and 4 inches 4H-SiC wafers (literal)

Abstract

• Whole 4H-SiC 3 and 4 inches wafers optical characterization is a rapid system for assessing the quality of substrates and epitaxial layers. Spatially resolved micro-photoluminescence (mu PL) and micro-Raman (mu R) spectroscopy are performed on large areas allowing obtaining several structural properties as extended defect surface density, doping concentration uniformity, stress field of wafers. With our modified apparatus it is possible to perform mu PL and mu R fast characterization with the same resolution on the same area. Moreover it is easy to perform high resolution mu PL and mu R analyses on critical areas, i.e. high defective areas, for device manufacturing. (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)

Autore CNR

• ANDREA CANINO (Persona)
• NICOLO' PILUSO (Unità di personale esterno)
• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Large area optical characterization of 3 and 4 inches 4H-SiC wafers" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)

Autore CNR di

• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)
• NICOLO' PILUSO (Unità di personale esterno)
• ANDREA CANINO (Persona)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Thin solid films (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Large area optical characterization of 3 and 4 inches 4H-SiC wafers" (Insieme di parole chiave)