A double heater integrated gas flow sensor with thermal feedback (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• A double heater integrated gas flow sensor with thermal feedback (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2005-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/j.sna.2005.04.023 (literal)

Alternative label

• Paolo Bruschi; Alessandro Diligenti; Dino Navarrini; Massimo Piotto (2005)
  A double heater integrated gas flow sensor with thermal feedback
  in Sensors and actuators. A, Physical (Print); Elsevier Science SA, Lausanne (Svizzera)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Paolo Bruschi; Alessandro Diligenti; Dino Navarrini; Massimo Piotto (literal)

Pagina inizio

• 210 (literal)

Pagina fine

• 215 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 123-124 (literal)

Rivista

• Sensors and actuators. A, Physical (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 6 (literal)

Note

• Scopu (literal)
• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, via G. Caruso, I-56122 Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, via G. Caruso, I-56122 Pisa, Italy STMicroelectronics, R&D Division, via Olivetti 2, I-20041 Agrate Brianza (MI), Italy IEIIT-Sezione di Pisa, CNR, via G. Caruso, I-56122 Pisa, Italy (literal)

Titolo

• A double heater integrated gas flow sensor with thermal feedback (literal)

Abstract

• An integrated thermal sensor for flow rates below 200 sccm, consisting of two central heaters and two thermopiles, located downstream and upstream with respect to the heaters, is presented. The sensor, fabricated by post-processing chips produced with a standard microelectronic process, is operated in closed loop configuration through a single operational amplifier, in such a way that the flow-induced temperature difference between the two thermopiles is cancelled by applying a power mismatch to the two heaters. The output signal is proportional to the heater power unbalance. Static and dynamic electrical characterization of the sensor is performed. The response to nitrogen flow rates has been measured for various gas pressures. (literal)

Editore

• Elsevier Science SA (Editore)

Prodotto di

• Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni (IEIIT) (Istituto)
• Multimedia Communications & Signal Processing Sistems and Technologies (Resp. PICCO) (ICT.P10.003.001) (Modulo)

Autore CNR

• MASSIMO PIOTTO (Persona)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "A double heater integrated gas flow sensor with thermal feedback" (Insieme di parole chiave)

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Prodotto

• Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni (IEIIT) (Istituto)
• Multimedia Communications & Signal Processing Sistems and Technologies (Resp. PICCO) (ICT.P10.003.001) (Modulo)

Autore CNR di

• MASSIMO PIOTTO (Persona)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Sensors and actuators. A, Physical (Rivista)

Editore di

• Elsevier Science SA (Editore)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "A double heater integrated gas flow sensor with thermal feedback" (Insieme di parole chiave)