A Closed-Loop Mass Flow Controller Based on Static Solid-State Devices (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• A Closed-Loop Mass Flow Controller Based on Static Solid-State Devices (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2006-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1109/JMEMS.2006.876785 (literal)

Alternative label

• Paolo Bruschi; Dino Navarrini; Massimo Piotto (2006)
  A Closed-Loop Mass Flow Controller Based on Static Solid-State Devices
  in Journal of microelectromechanical systems; IEEE, Institute of electrical and electronics engineers, New York (Stati Uniti d'America)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Paolo Bruschi; Dino Navarrini; Massimo Piotto (literal)

Pagina inizio

• 652 (literal)

Pagina fine

• 658 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 15 (literal)

Rivista

• Journal of microelectromechanical systems (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 7 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo

• 3 (literal)

Note

• Scopu (literal)
• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, Università di Pisa, I-56122 Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, Università di Pisa, I-56122 Pisa, Italy IEIIT, Sezione di Pisa, CNR, I-56122 Pisa, Italy (literal)

Titolo

• A Closed-Loop Mass Flow Controller Based on Static Solid-State Devices (literal)

Abstract

• A mass flow controller, based on an integrated flow sensor and a thermally actuated solid state regulator, is presented. The sensor is a miniaturized differential calorimeter obtained by postprocessing a silicon chip fabricated by a standard microelectronic process. The regulator consists in a microchannel etched into the surface of a silicon substrate and sealed with a glass plate, joined to the silicon die using anodic bonding. Flow regulation is achieved by varying the channel temperature by means of a chromium resistor. The two devices are connected in closed-loop through a low noise--low offset electronic circuit. Experimental data, demonstrating the effectiveness of the flow controller, are presented. Limitations of the proposed approach and possible improvements are discussed. (literal)

Editore

• IEEE, Institute of electrical and electronics engineers (Editore)

Prodotto di

• Multimedia Communications & Signal Processing Sistems and Technologies (Resp. PICCO) (ICT.P10.003.001) (Modulo)
• Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni (IEIIT) (Istituto)

Autore CNR

• MASSIMO PIOTTO (Persona)

Insieme di parole chiave

• Parole chiave di "A Closed-Loop Mass Flow Controller Based on Static Solid-State Devices" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni (IEIIT) (Istituto)
• Multimedia Communications & Signal Processing Sistems and Technologies (Resp. PICCO) (ICT.P10.003.001) (Modulo)

Autore CNR di

• MASSIMO PIOTTO (Persona)

Editore di

• IEEE, Institute of electrical and electronics engineers (Editore)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Journal of microelectromechanical systems (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Parole chiave di "A Closed-Loop Mass Flow Controller Based on Static Solid-State Devices" (Insieme di parole chiave)